关键词:
磁悬浮
电容传感器
位移测量
有限元分析
摘要:
为精确非接触地监测磁悬浮球体的位移,本文设计了两种电容位移检测方案:单端方案和差分方案。运用COMSOL Multiphysics软件,为这两种方案构建了有限元仿真模型,并分析了测试电容值与磁悬浮球位移之间的关系。在单端式方案中,测试电容与悬浮球位置的关系呈现出非线性特征,且这种非线性随球体与电容极板间距离的增加而更加明显。相比之下,差分式方案展现出测试电容与磁悬浮球位移之间的线性关系,但在量程增加时,其测试灵敏度有所下降。得益于电容检测电路技术的不断进步,提出的差分式电容位移检测方案在超过6.4 mm的磁悬浮球位移范围内,有望实现纳米级的位移检测精度。