关键词： 飞秒激光   双光子吸收   光聚合   微加工   光子晶体  

摘要： 飞秒激光具有独特的超强与超快特性，其超强特性使我们能以较低的脉冲能量获得极高的峰值光强，诱发固体材料的烧蚀和光敏树脂的双光子吸收，可实现高精度三维加工。飞秒激光微纳加工是飞秒激光研究领域的热点。 飞秒激光在介质中的传播及其聚焦的理论研究是飞秒激光微纳加工的理论基础。通过近轴近似法求解了高斯光束的近轴焦点;讨论了自聚焦和等离子体形成对飞秒激光聚焦的影响;最后，在原有显微物镜的基础上通过改变光束尺寸调整显微物镜的有效数值孔径。 建立了一套飞秒激光微纳加工系统，对K9玻璃表面和内部的非线性离化机制进行了研究，实现了K9玻璃材料的表面的微米、亚微米双尺度加工和内部任意三维形状的体制造。在表面制备了微型无阀泵阵列、微型混合器阵列和大面积微米—亚微米双尺度光栅结构;在材料内部制备了各种光子器件，如光波导、光栅、光子晶体等。 提出了双光子光聚合的理论模型，进行了飞秒激光光聚合所需的激光强度阈值和加工分辨率的理论推导，建立了飞秒激光双光子光聚合微细加工实验系统。在ORMOCER材料内实现了双光子光聚合，突破了衍射极限。采用飞秒激光双光子光聚合法，选择不同的实验参数，制备了多种典型的生物微器件，如微叶轮、微井阵列和微柱阵列。 采用飞秒激光双光子光聚合的方法，在液态光敏树脂ORMOCER中成功制得二维正方晶格光子晶体及波导，同时制备了品质较高的三维木堆型光子晶体。最后，运用ImageProPlus5软件对清洗之后的三维木堆光子晶体进行了质量表征和误差分析，为工艺优化和制作高质量的微器件或光子晶体结构提供了直观方便的实验判据。

关键词： 离子束聚变装置  

ISBN: (纸本)7563916903

摘要： 本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。

关键词： 光学投影系统  

ISBN: (纸本)7563916695

摘要： 本书系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景，特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成等。

关键词： 电子束光刻   微纳加工   纳米器件  

摘要： 电子束光刻是微电子技术领域重要的光刻技术之一,它可以制备特征尺寸10nm甚至更小的图形。随着电子束曝光机越来越多地进入科研领域,它在微纳加工、纳米结构的特性研究和纳米器件的制备等方面都呈现出重要的应用价值。本文以几种常见的电子束曝光机为例,说明电子束光刻的工作原理和关键技术,并给出一些它在纳米器件和微纳加工方面的应用实例。

关键词： 纳米加工   纳米器件   微纳加工技术   光学光刻技术  

摘要： 微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章介绍了自上而下的微纳加工技术的进展及其在微纳器件研制的重要作用.

关键词： 纳米光电子器件   电子束光刻   电感耦合等离子体刻蚀   量子点器件   光子晶体  

摘要： 纳米光电子器件正在成为下一代光电子器件的核心.文章介绍了电子束光刻和电感耦合等离子体刻蚀为代表的微纳加工技术在光电子学器件中的应用,主要包括量子点激光器、量子点THz探测器和光子晶体器件.

关键词： 超微电极制备   微纳加工技术   单超微电极   超微电极阵列   评述  

摘要： 从电极材料、绝缘材料、薄膜的图形化等方面,评述了微纳加工技术在单超微电极和超微电极阵列制备中的应用。在单超微电极的制备中,随着微纳加工技术的引入,可以实现具有规则几何形状和微小电极尖端的单超微电极的重复性制备。

关键词： 超大规模集成电路   集成电路工艺   电子束光刻   设备  

ISBN: (纸本)7563914323

摘要： 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工作台提高加工精度和生产效率的有效方法。

关键词： 激光干涉仪   精密测量   精密定位   微位移   光刻技术  

摘要： 随着信息时代的到来,微细加工技术的特征尺寸变得越来越细,加工尺寸进入亚微米以至纳米级,先进的制造科学与技术显得越来越重要.当今的先进制造技术是集光学、机械学、电子学、计算机控制技术等于一体的综合技术,微、纳加工技术的发展,尤其是各种光刻技术的发展离不开精密工件台技术的发展和进步.本文介绍了精密工件台技术在国内外的研究情况,系统地阐明了精密工件台中的关键技术—精密测量技术、直线驱动技术、直线导向技术、微位移技术、控制技术的工作原理、结构、特点;在此基础上,根据运动特点对当前各种各样的工件台结构形式进行了分类和分析,并对电子束曝光机中的精密工件台作了精度分析,总结了几项评价工件台主要性能指标的方法,给出了利用电子曝光机中偏转系统实现工件台精度补偿方法(LBC),指出了为了获得高精度必须控制温度和振动引起的变形;阐述了精密工件台在光刻设备、精密测量、机械加工、生物技术、纳米表面形貌测量和纳米加工中的具体应用.

关键词： 电子束  

ISBN: (纸本)7563913009

摘要： 本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标，电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。