关键词： 激光加工表征   微纳加工   原位表征   泵浦-探测成像   超快成像   laser processing characterization   micro-nano processing   in-situ characterization   pump‒probe imaging   ultrafast imaging  

摘要： 近年来，随着激光加工技术在微纳尺度材料和器件上的广泛应用，面向激光加工的表征技术研究为深入理解激光与材料的相互作用、优化加工工艺、提升加工质量提供了重要支持，已被广泛应用于微纳光电器件制造、生物医学材料处理等领域。然而，随着加工精度的提高和应用范围的扩展，对激光加工的微纳结构进行原位、快速、实时表征成为一个关键技术挑战。本文介绍了当前主流的激光微纳加工的原位表征技术，并将其归纳为几何量原位表征、超高时空分辨原位表征两大类。在几何量原位表征中，扫描电子显微镜、结构光三维成像等技术被广泛应用于表面形貌和微观结构的高分辨率成像，对激光加工后的微纳结构进行快速原位表征。超高时空分辨原位表征包括泵浦-探测成像和单脉冲超快成像等，通过皮秒至飞秒级的时间分辨率，可以观察材料在激光加工中的瞬态演变过程，揭示微观结构和材料性能的变化，为深入理解激光与材料的相互作用提供重要支持。最后，本文总结了相关激光原位表征技术并且对该技术的未来发展方向进行展望。您的浏览器不支持 audio 元素。AI语音播报 关键词