关键词:
解键合
机械
Frame
摘要:
近年来,电子产品不断朝着小型化、集成化的方向发展,采用堆叠结构的2.5D、3D封装领域,要求器件晶圆的厚度不断的减薄,对减薄晶圆的处理工艺成为了难道、要点,由于超薄晶圆具有易碎性、易翘曲的特点,可以将器件晶圆与载片晶圆临时键合,由载片晶圆为器件晶圆提供机械支撑。在减薄抛光工艺完成后,通过解键合将器件晶圆与载片晶圆进行分离,该过程称为临时键合及解键合技术。解键合技术是一种常用的晶圆加工方法,其用于将超薄器件晶圆和载片晶圆相分离。根据临时键合中间的键合胶不同,可使用不同的解键合方法,现有的解键合方法主要有热处理方法、化学方法、机械方法和激光烧蚀方法四种类型。本文重点就机械解键合技术展开研究。