关键词:
超高纯316L不锈钢
夹杂物
VAR
成分
洁净度
摘要:
超高纯度(UHP)AISI 316L奥氏体不锈钢是半导体设备部件的关键材料,采用真空感应熔炼(VIM)加真空自耗重熔(VAR)工艺生产的材料称为A料,采用氩氧脱碳炉(AOD)加VAR工艺生产的材料称为B料。为了寻找国内生产与进口的超高纯316L不锈钢的质量差距,选取了不同厂商生产的8种超高纯316L不锈钢A料和B料,采用金相显微镜、扫描电子显微镜及配套能谱、Thermo-Calc热力学软件开展了夹杂物解析。结果表明,国内甲厂B料夹杂物密度和面积分数最小,洁净度最高,其次为国内甲厂A料、日本进口A料、日本进口B料以及国内乙厂A料;国内甲厂夹杂物控制水平达到国际先进水平,采用稀土Ce改质夹杂物,夹杂物主要为Ce_(2)S_(3)以及Ce_(2)O_(2)S,日本进口A料和国内丙厂A料夹杂物主要为Al_(2)O_(3),美国进口A料较高的Mn含量导致夹杂物主要为MnO·Al_(2)O_(3)和MnS,国内乙厂A料与日本进口B料采用Mg改质处理,因此夹杂物主要为MgO·Al_(2)O_(3)和Al_(2)O_(3),国内乙厂B料夹杂物主要为大尺寸的Cr_(2)O_(3)和Al_(2)O_(3)。Thermo-Calc 2020b计算冷却过程中夹杂物演变结果与试验结果基本吻合。