关键词： 半导体晶圆   激光切割   加工焦点   焦点位置   高精度自动检测   柔性电容式传感器  

摘要： 由于传统的激光切割焦点位置检测方法多采用接触式或机械式方式,存在操作复杂、精度不高等问题,因此提出半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法。首先设计柔性电容式传感器进行标定,将标定后的柔性电容式传感器安装在晶圆上方,然后通过电容量计算加工焦点和被加工对象间位置,实现加工焦点位置的高精度自动检测。实验结果表明,应用设计方法,其半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测结果最大误差仅为0.09 mm,满足高精度的检测需求。

关键词： 半导体制造   晶圆加工   腔室清洗   静力学分析   气流场分析  

摘要： 随着半导体制造工艺的进步,对晶圆制造环境的要求更为严苛。晶圆腔室中残余的污染会干扰后续加工,导致晶圆表面的加工质量下降,因此清洁晶圆加工腔室至关重要。基于腔室清洗设计了晶圆加工腔室自清洗模块的三维模型,并利用有限元分析软件对结构强度进行了验证。通过不同进气角度和高度下的气体流场仿真实验,验证了自清洗模块在不同条件下的清洗效果,为实际应用奠定了坚实的基础。

关键词： Three term control systems  

摘要： The uniform temperature control for heating process systems in semiconductor equipment is implemented to a temperature controller which is supplied to the semiconductor equipment manufacturer. In composition of the business, the adequacy of the relations between companies of the control technology is an important issue. In this paper, comparison of logical approach and data-driven approach of the uniform temperature control is described. © 2025 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

关键词： 蝶形半导体激光器   恒流源   脉冲调制   温度控制   驱动控制   调制电路  

摘要： 针对蝶形封装的半导体激光器的控制需求,提出了一种驱动控制方案。设计恒流源电路、保护电路、调制电路和TEC驱动电路,以实现激光器的恒流源驱动控制,并防止激光器受到浪涌、过流、静电等异常工况的危害。基于MAX038高频信号发生器和74LS245八位总线三态收发器实现对输出光的调制。通过ADN8830控制器驱动TEC实现对温度的控制。通过仿真验证各控制模块的功能性能,以确保蝶形半导体激光器能正常工作。

关键词： Cr掺杂CdS   纳米结构   铁磁性   溶剂热  

摘要： 针对稀磁半导体纳米材料在电子元器件、半导体芯片、集成电路有广泛的应用,基于溶剂热法,在180℃下,以CdO、S粉和六水合氯化铬(CrCl_(3)·6H_(2)O)为原料,乙醇胺、乙二胺为有机溶剂,用溶剂热法合成具有室温铁磁性Cr掺杂CdS纳米结构的稀磁半导体。采用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、电子能量散射谱(EDS)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)、超导磁体振动样品磁强计(VSM)检测产物的晶体结构、形貌、光学性质及磁学性能。结果表明,Cr掺杂的CdS纳米结构具有纤锌矿结构,Cd_(1-x)Cr_(x)S(x=3.94%)纳米颗粒具有规则形貌,颗粒直径为30~40 nm。合成产物由Cr、Cd和S 3种元素构成,Cr掺杂CdS纳米颗粒物质的量分数最高达到7.16%。在室温下,Cr掺杂CdS产生强铁磁性能,然而未掺杂的CdS则产生出较弱铁磁性能,Cd_(1-x)Cr_(x)S(x=3.94%)纳米颗粒饱和磁化强度M_(s)为9.258×10^(-6)A·m^(2)/g,H_(c)矫顽力为73.25 Oe(1 Oe=103/4πA/m)。Cr掺杂CdS铁磁性增强与CdS晶格中Cr掺杂产生结构缺陷有关,Cr掺杂CdS铁磁性的起源归因于双交换机制。

关键词： 传统加工方法   飞秒激光加工   硬脆材料   半导体行业   耐腐蚀特性   微孔加工   红宝石  

摘要： 随着半导体行业的蓬勃发展,碳化硅、石英及红宝石等硬脆材料的应用日益广泛,尤其在传感器、喷射部件及精密搬运治具等领域展现出巨大潜力。然而,这些材料的高硬度、耐高温与耐腐蚀特性,也为加工带来了诸多挑战。ML-5飞秒激光微细加工设备凭借其独特的飞秒激光技术,有效克服了传统加工方法在硬脆材料上遇到的孔口崩边和加工效率低等难题,为半导体及消费类电子领域的高精密微孔加工需求提供了完美解决方案。

关键词： 新质生产力   半导体工艺原理   教学改革   人才培养模式  

摘要： 随着科技的迅猛发展,新质生产力理论应运而生,为我国现阶段产业升级与新旧动能转换指明了方向,并逐步重塑全国各产业的格局。半导体产业作为现代科技的核心领域,其对新质人才培养具有重要意义。本文基于新质生产力视角,深入探究“半导体工艺原理”课程在教学现状、教学内容、教学模式、考核评价方法以及课程思政等方面所存在的问题,并针对性地提出教学改革路径,期望借此提升该课程教学质量,为半导体产业培育契合新质生产力需求的创新型与复合型人才,助力半导体产业的长远发展与进步。

关键词： 全球市场份额   半导体产业   政局动荡   竞争合作关系   半导体领域   半导体行业   NAND闪存   关键领域  

摘要： 2024年,韩国半导体出口同比增长43.9%,达到1419亿美元,实现了自2023年11月以来连续第14个月保持增长态势,并刷新了2022年1292亿美元的纪录,再次证明其在全球半导体行业里的强大竞争力。韩国在DRAM、NAND闪存等关键领域拥有显著的技术优势和压倒性的全球市场份额,三星、SK海力士等头部企业在全球半导体产业中的地位举足轻重。然而,2024年12月以来韩国政局陷入持续动荡,不仅给韩国经济和半导体产业带来了压力,也引起了全球同行的广泛关注。此次政局动荡会不会改变韩国半导体产业的发展轨迹?韩国与半导体领域其他“玩家”的竞争合作关系是否会发生变化?

关键词： 椭圆偏振光谱   半导体   聚合物  

摘要： 椭圆偏振光谱(SE)以其非破坏性和非接触性、高精度和高灵敏度、原位测量能力以及广泛的适用性等技术优势,在材料科学、半导体物理、微电子学等领域发挥着重要作用。综述了近年来基于椭圆偏振光谱技术在材料科学领域的应用进展,主要包括半导体材料、聚合物材料以及生物传感材料。

关键词： 半导体冷藏箱   冷藏贮运   喷射式制冷  

摘要： 采用半导体制冷的冷藏箱在车载冰箱、果蔬冷藏配送等方面已经得到使用。经过调研发现,在日常药品的冷藏保存、正常医用疫苗和血液等的冷藏贮运场景,半导体冷藏箱的使用存在可行性和必要性。通过两组对照试验,探讨了半导体冷藏箱的储存性能,针对半导体冷藏箱制冷效率不高的问题,创新地提出了半导体喷射式联合制冷的设计思路。