关键词： 半导体芯片   洁净室   环境控制系统   智能化设计   应用  

摘要： 半导体芯片制造中洁净室环境控制尤为重要,环境控制直接影响产品质量和生产效率。如今,智能化设计在洁净室环境控制系统中得到了广泛应用,特别是在温湿度控制、空气洁净度控制、气压控制等方面该系统起到了非常重要的作用。本文主要分析了半导体芯片洁净室环境控制系统的智能化设计与应用情况,重点探讨了物联网、大数据、人工智能等技术在提高系统智能化水平方面的应用价值。希望可以依靠所实施的智能化环境控制系统可以实时监测并调节环境参数,以此满足半导体生产过程精确控制的需求,进而提高产品生产效率。

关键词： 全固态激光器   多增益介质   端面泵浦   激光受激辐射速率   激光强度噪声  

摘要： 针对现有激光器强度噪声理论不能直接用于模拟单腔中含有多块单独泵浦的相同增益介质单频激光器强度噪声的问题,对现有的强度噪声理论中表征增益介质激活原子数与腔内光子数相互作用强度的激光受激辐射速率进行了修正。在此基础上,利用等效受激辐射速率模型和求解激光器输出功率所应用的等效原子数模型,对单腔中增益介质个数N=1、2、4所对应的激光输出功率分别为50、101、140 W单频Nd∶YVO_(4)激光器的强度噪声进行了模拟,并将模拟结果与激光器的实际激光强度噪声进行了比较。研究表明,相比于等效原子数模型,采用等效受激辐射速率模型对单腔多增益介质激光器强度噪声进行模拟时,模拟结果更能真实反映激光器的强度噪声特性。

关键词： 改进蚁群算法   半导体复杂制造生产   并行调度   调度成本和调度时间  

摘要： 半导体制造涉及多台设备、多个工序和大量的产品批次。在并行调度中,需要处理大量的任务和处理单元之间的调度问题,调度成本与时间难以得到协调,使得问题规模和复杂度大大增加。为此,研究新的基于改进蚁群算法的半导体复杂制造生产并行调度方法。首先探讨半导体制造生产流程的调度问题,再建立半导体复杂制造生产并行调度的目标函数,即调度成本和调度时间,利用改进蚁群算法求解以上目标函数。通过计算任务的完成时间、设备的利用率等因素来确定信息素的更新策略,优化调度结果。实验结果显示:研究方法对半导体生产过程的调度更加稳定,其调度时间和成本均更低,达到了理想的车间生产调度效果。

关键词： SiP封装技术   网版印刷  

摘要： SiP封装技术已经成为半导体产业最重要的技术之一。为了让芯片效能最大化、封装后的体积最小化、定制化,芯片的发展也从一味追求功耗下降、性能提升转向更加满足市场的需求。介绍Si P封装技术中网版印刷工艺和严苛的要求,以及利用现有SMT锡膏网版印刷设备,在非半导体行业大批量生产的发展趋势。

关键词： 智能制造   半导体产业   软件研发   人工智能   信息技术   软件系统   智能工业   探索者  

摘要： 伴随着信息技术、人工智能等技术的不断发展,智能制造正在助力半导体产业跑出“芯”速度。其中,智能制造软件系统是半导体智能制造的“大脑”。埃克斯工业有限公司正是该行业的探索者之一。埃克斯工业成立于2017年,一直专注于半导体智能工业软件研发。

关键词： 激光器   锥形半导体激光器   器件结构设计   外延优化  

摘要： 基于GaAs衬底的近红外波段半导体激光器已经取得了显著的发展。在大功率研究方面,因为可以同时实现高功率、高光束质量的优良特性,主振荡功率放大器结构的锥形半导体激光器成为了广受关注的研究热点。归纳了近年来国内外关于GaAs基锥形激光器的代表性研究成果,讨论了激光器器件结构设计(包括脊形区、锥形区以及布喇格光栅等的设计)和外延层优化在理论研究及实验方面取得的进展;围绕高功率、高光束质量、高亮度、窄线宽应用需求,总结整理了锥形激光器的研究进展与性能特征;对本团队关于锥形激光器的研究工作进行了简要介绍;并展望了锥形激光器未来的发展方向。

关键词： 半导体装备动力学   精密运动系统   主动振动控制   晶圆机械手   光栅尺   精密温度控制  

摘要： 围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学与控制领域一些研究成果.

关键词： 半导体制造设备   自动化作业系统   模块化  

摘要： 随着半导体制造工艺的不断升级和复杂化,传统人工操作模式及低效自动化系统已经无法满足高精度、高效率和大规模生产需求。为满足当前半导体制造过程中对高可靠性、灵活性及智能化设备控制的迫切需求,分析半导体制造设备的类型以及自动化作业系统的应用优势,提出模块化的设计思路,将半导体制造设备自动化作业系统划分为4个核心模块,提升半导体制造设备的可维护性、扩展性和运行效率,以期为相关人员提供参考。

关键词： semiconducting polymers   ultrathin films   grazing incidence X-ray scattering   stretching device   strain-induced microstructural evolution  

摘要： The advancement in grazing incidence X-ray scattering(GIWAXS)techniques at synchrotron radiation facilities has significantly deepened our understanding of semiconducting ***,investigation of ultrathin polymer films under tensile conditions poses challenge,primarily due to limitations associated with the lack of suitable sample preparation methods and new stretching *** study addresses these limitations by designing and developing an in-situ temperature-controllable stretching sample stage,which enables real-time structural measurements of ultrathin polymer films at Beijing Synchrotron Radiation *** particular,we report,for the first time,in-situ GIWAXS results of representative semiconducting polymer thin films under variable-temperature *** research has overcome the limitations imposed by sample constraints,thus facilitating the achievement of valuable insights into the behavior of ultrathin polymer films under tensile *** changes in the molecular ordering and packing within the polymer thin films as a result of increasing applied strain and temperature have been *** study promotes future developments in the field,thus enabling the design and optimization of intrinsically stretchable electronic devices and other technologically relevant applications.

关键词： 半导体市场   半导体行业   需求疲软   半导体产品   经济放缓   存储芯片   贸易壁垒   消费类电子产品  

摘要： 复苏回暖近年来,受地缘冲突、贸易壁垒、经济放缓、消费类电子产品需求疲软等多重因素的影响,全球半导体市场经历了显著的起伏。在2023年全球半导体市场经历负增长后,在存储芯片及逻辑芯片等推动下,全球半导体市场在2024年迎来复苏,根据WSTS发布的半导体市场预测,2024年全球半导体市场规模预计同比增长16.0%,有望达到6,112亿美元。另根据美国半导体工业协会(SIA)报告显示,中国市场增速超全球,一、二季度同比增长均超20%,显示出中国市场在全球半导体行业中的重要地位以及对半导体产品的强劲需求。