关键词： 半导体制造   晶圆缺陷分类   混合型缺陷   全局与局部特征   特征融合  

摘要： 在半导体制造领域,晶圆缺陷分类是确保产品质量的重要步骤。然而,由于晶圆缺陷的多样性和复杂性,现有的混合型晶圆缺陷分类网络在准确性上仍然存在不足。针对这一问题,提出了一种基于全局和局部多尺度特征融合的混合型晶圆缺陷分类网络—MLG-Net。MLG-Net由3个主要模块组成:特征提取模块、全局分支和局部分支。该网络旨在更好地提取和利用晶圆缺陷图像的全局语义信息与局部细节特征,这两种特征通过多尺度特征融合技术相结合,最终形成一个更加全面的特征表示,有助于分类器在面对复杂混合缺陷时,做出更为准确的判断,从而提升分类精度。为了验证MLG-Net的有效性,在包含38种混合类型缺陷的数据集—MixedWM38上进行了大量实验,其分类准确度达到98.84%。结果表明,MLG-Net在综合性能上优于当前主流的六种晶圆缺陷分类方法。这一结果证明了全局与局部特征融合在处理混合型晶圆缺陷分类任务中的重要性和有效性。

关键词： 零带隙半导体   庞电致电阻   内电场   O空位  

摘要： 采用脉冲激光沉积(PLD)法制备了具有体心正交结构的单相PbPdO2薄膜,且PbPdO2薄膜具有(002)择优取向。根据EDS和XPS的测试结果证实PbPdO2中存在Pb空位和O空位。薄膜中Pb和Pd离子的价态分别为+2和+2价态。另外,PbPdO2的磁性主要和Pb空位诱导出的O1−有关。ρI (T)结果表明在PbPdO2中存在由电流诱导的正庞电致电阻(CER)效应。PbPdO2的金属–绝缘体转变温度(TMI)会随着电流和磁场的增大而增大,这表明了大的电流和磁场都可以推动薄膜的TMI向更高温区转移。最后,以薄膜中的Pb空位为中心,建立了内电场模型,很好地解释了PbPdO2的正CER效应。Single-phase PbPdO2 thin film with body-centered orthogonal structure have been prepared by pulsed laser deposition (PLD), and the PbPdO2 thin film has a (002) preferred orientation. The results of EDS and XPS confirmed the existence of Pb vacancy and O vacancy in PbPdO2 thin film. The valence states of Pb and Pd ions in the film are +2 and +2, respectively. In addition, the magnetism of PbPdO2 is mainly related to O1− induced by Pb vacancy. The ρI (T) results show that there is a positive current-induced CER effect in PbPdO2 thin film. The metal-insulator transition temperature (TMI) of PbPdO2 increases with the increase of the current and magnetic field, which indicates that large current and magnetic field can promote the TMI transfer of the film to a higher temperature region. Finally, an internal electric field model centered on the Pb vacancy in the film is established to explain the positive CER effect of PbPdO2.

关键词： 核心竞争力   华人企业   光学领域   光学技术   发展历程   半导体   光蚀刻   演进史  

摘要： 蔡司(ZEISS)是光学领域响当当的品牌,然而鲜为人知的是,显微镜的发明、半导体光蚀刻技术也出自蔡司之手。从创始人遗产基金会控股却险些破产,到转型成为股份公司,以光学技术为核心竞争力的百年演进,蔡司崎岖的发展历程会给华人企业怎样的启示呢?

关键词： 厂房建设   质量控制   效率提升  

摘要： 本文聚焦于超大规模半导体厂房建设过程中的质量控制与效率提升策略,旨在探讨如何在高度复杂、技术密集且资金庞大的建设项目中,实现质量、成本与工期的最优化平衡。通过分析超大规模半导体厂房建设桩基施工、钢筋施工、混凝土及模板施工,从而提出优化资源配置、减少浪费等措施实现提升厂房建设质量与控制效果的目的。基于此,本文就泉州三安半导体研发与产业化项目-3号前道芯片厂房项目为例展开分析,通过深入分析并探究该项目工程,提出相应改进策略,以期进一步提升其厂房建设质量与控制效率。

关键词： 半导体制造工艺   产业链创新   半导体技术   产学研合作   业务发展情况   第三极   技术创新   集成电路  

摘要： [导读]企业是创新的主体,也是推动创新创造的生力军。2024年7月,省人大常委会正式通过《广东省科技创新条例》(以下简称《条例》),对技术创新体系构建做出了规定,突出企业在技术创新中的核心作用。粤芯半导体技术股份有限公司(以下简称“粤芯半导体”)作为广东省本土自主创新企业,在半导体制造工艺与结构、技术平台与产品应用以及产学研合作与人才培养等方面都取得了积极成效。本刊特邀粤芯半导体结合自身业务发展情况对《条例》相关内容进行解读。

关键词： 半导体光放大器   明脉冲   暗脉冲   被动锁模   非线性极化旋转  

摘要： 为了解决激光明脉冲在光通信和光纤传感等领域的应用瓶颈,设计了一种基于半导体光放大器(SOA)的锁模光纤环形激光器,该激光器由SOA、偏振控制器、滤波器和起偏器等构成。分析了横电/横磁(TE/TM)模式光场经历SOA时的增益比值和相位差的变化机理,研究了环腔内总色散管理与SOA动态增益的关系,获得了稳定输出的明脉冲和暗脉冲,以及2种类型脉冲的动态演变过程。实验结果表明:当SOA的工作电流为242 mA时,成功获得脉冲重复频率均为14.83 MHz、脉宽为1.1ns的明脉冲和脉宽为0.95ns的暗脉冲,并验证了在相同工作电流时,暗脉冲的强度显著大于明脉冲的强度。

关键词： 可控温半导体冷敷仪   膝关节多韧带损伤   冻伤   肿胀   满意度   舒适度  

摘要： 目的:探讨可控温半导体冷敷仪在膝关节多韧带损伤术前肿胀患者治疗中的应用效果。方法:选取2020年6月至2022年6月南京医科大学附属南京医院骨科收治的60例膝关节多韧带损伤患者为研究对象,随机分为观察组与对照组两组,各30例。对照组使用传统普通冰袋冷敷,观察组使用可控温半导体冷敷仪冷敷。观察比较两组患者在不同温度下持续冷敷后并发症发生率、冷敷前后肢体周径变化、疼痛减轻程度、护理满意度、舒适度等情况。结果:观察组冻伤发生率(0.00%)明显低于对照组冻伤发生率(13.33%),差异有统计学意义(P<0.05);冷敷后,观察组与对照组相比肢体周径显著减小、VAS评分显著降低,差异均有统计学意义(P<0.05);观察组护理满意度、患者舒适度分别为93.3%及96.7%,均高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论:可控温半导体冷敷仪能精确固定在安全温度,可减少冻伤发生,有效减轻患者术前肿胀,改善患者疼痛,在提高安全性的同时达到冷敷效果,提高患者舒适度,具有临床应用价值,值得推广。

关键词： 半导体功率源   微波消融   磁控管  

摘要： 为提升微波消融设备的应用效能,有效提升肿瘤等疾病的治疗水平,可在微波消融设备中融合半导体功率源,从而在优化治疗效果的同时,全面推进我国微创治疗技术的发展,为医疗行业长久稳定提供保障。本文简要分析了微波消融技术,并对半导体功率源在微波消融设备中应用要点展开了讨论,以供参考。

关键词： PN   结   MS   结   MOS   结   正反偏   能带图  

摘要： 能带图在半导体物理与器件的学习中占据重要地位。深入分析PN结在零偏、正偏和反偏电压下能带图的区别与联系,得到PN结能带图绘制的一般规律,并推广这个一般规律。把金半(Metal Semiconductor,MS)接触结构当作PN结的特例直接套用PN结中总结的规律,得到MS结构的能带图。再利用介质中的电位移连续性直接得到金属-氧化物-半导体(Metal Oxide Semiconductor,MOS)结的能带图。

关键词： 高纯度电子特气   半导体器件性能   制备技术优化  

摘要： 本文主要针对高纯度电子特气的制备工艺及对半导体器件性能产生的影响进行深入的研究。首先对电子特气高纯度制备工艺现状进行分析,指出现有工艺中存在的瓶颈问题,讨论新技术开发和应用进展情况。然后,详细描述电子特气纯度对于半导体器件电学性能及可靠性所产生的具体作用,并结合案例研究进一步验证纯度提升对于器件性能所产生的明显提升作用。同时本论文还注意到高纯度电子特气制备技术所面临的一些挑战,主要是技术创新和成本平衡、环保和可持续发展等方面的要求,最后展望了该技术发展的趋势和前景。