关键词:
碳基FET传感器
气体传感器阵列
交叉敏感性
痕量气体检测
模式识别
摘要:
当前,室内环境污染日益严重,使得人们越来越重视室内的空气质量。目前室内空气污染主要由室内装修所用涂料、油漆和人造板材及家具释放的甲醛(HCHO)、挥发性有机物(VOCs)等污染物所致。这些有害气体种类繁多,来源复杂,即使在较低的浓度(ppb级别)都会严重损害人的身体健康,给人造成急性或是慢性及潜在的危害,因此对室内有害气体的检测显得尤为重要。由于可以同时在线监测室内有害气体,电子鼻技术受到了广泛的关注,但电子鼻识别气体的准确性易受到外部环境和设备结构的影响,如何实现对多种气体的准确识别仍是气体传感器领域的一个巨大挑战。由于室内痕量有害气体所引起的微弱电信号难以检测,实现对痕量气体所引起的微弱响应信号的有效提取、增强及检测也是一项亟待解决的重要任务。在本研究中,从器件微型化、集成化与批量化制作的角度出发,选择处于国际研究热点的碳基场效应晶体管(FET)为研究对象,通过敏感材料的筛选和制备、器件结构设计及性能表征等一系列手段,设计了沟道敏感型、栅极敏感型及其阵列结构,结合模式识别算法实现了室内混合气体中各气体种类的有效识别。具体工作如下:
1.为了解决单一气体传感器检测不准确导致气体识别困难的问题,本文以室内空气污染物的几种代表性物质甲醛(HCHO)、氨气(NH3)和硫化氢(H2S)为研究对象,采用了构建传感器阵列与模式识别算法相结合的策略来实现对多种气体组分的识别。采用碳基薄膜晶体管(TFT)作为传感器阵列的基本单元,利用不同的金属(Au、Cu和Ti)修饰TFT器件单元的碳纳米管(CNT)沟道,以实现对各种气体的相互不同的响应。与原始的CNT沟道的TFT型气体传感器相比,利用Au、Cu和Ti对CNT沟道进行修饰后,分别提高了TFT型传感器对NH3、H2S和HCHO的选择性响应。此外,通过与线性判别分析(LDA)算法和逻辑回归分类器(LR)的结合,开发了气体种类识别模式,并应用于电子鼻对各单一气体种类的识别(NH3、H2S和HCHO)。特别是使用模式识别中的LDA算法进行气体分类,并使用LR分类器来识别三种目标气体物种,准确率高达100%。传感器阵列结合模式识别算法这一策略为实现室内复杂环境下气体的检测以及识别提供了重要经验和指导。
2.为了实现对痕量气体微弱信号的有效放大,提出具有栅极敏感结构的FET型气体传感器。通过在沟道上方引入氧化钇(Y2O3)作为栅氧化层,有效隔离气体与沟道的接触,避免了不同气体对沟道材料产生各异的影响,最大程度保持了沟道良好的电学性能,实现栅极气敏响应信号的稳定增益效果。采用微纳加工工艺成功制作了栅敏型碳基FET型气体传感器,区别于沟道敏感型气体传感器,通过将半导体型CNT和催化金属分别作为沟道和栅极材料,充分利用了沟道传输层和栅极敏感层各自的优势。所制备的碳基FET型气体传感器对HCHO的检测限低至10 ppb,恢复率高达97%,基线漂移率仅为2%,具有优异的响应特性、恢复特性、稳定性等气敏性能。碳基FET型气体传感器高灵敏度检测主要归功于碳基FET良好的放大效应,实现对来自栅极的痕量气体造成微弱信号的放大。该项工作可为设计具有低浓度气体检测能力的传感阵列提供可借鉴的思想方法与手段。
3.针对栅敏型碳基FET器件,构筑具有显著气敏响应区分度的栅极材料体系,研究不同材料对各气体的有效响应,建立气体种类与栅极材料及器件性能的关联。通过FET阵列结构的设计,提供对多目标气体相关联的丰富的信息数据集,结合模式识别算法对数据的处理,最终实现对单一气体种类与浓度难以同时识别及混合气体中目标气体识别。利用LDA、SVM算法结合MLR算法,发展了多气体气体识别模式,通过分别检测HCHO、H2S和NH3三种气体,以及对三种混合气体中甲醛气体的单一识别研究中发现:采用LDA可以实现气体的可视化分类,进一步结合SVM算法可以实现气体种类的识别,采用MLR完成对浓度的预测。分别检测三种气体的识别率达到96.04%、99.96%、99.62%,混合气体中识别甲醛的准确率可达82.08%。这项工作突破了单一气体种类和浓度同时识别、混合气体中目标气体精准识别的技术瓶颈,为可实现多气体精准识别的电子鼻技术提供重要的理论与实验支撑,为气体传感芯片在人工智能的未来应用提供重要指导。