关键词:
飞秒激光加工
温度
曲率
折射率
摘要:
设计一款基于单模光纤-细芯光纤-单模光纤拼接而成,并由飞秒激光刻写的马赫-曾德尔干涉仪型的多参量传感器,研究其高温、曲率与折射率传感特性。通过飞秒激光在整段细芯上刻写一条直线,破坏细芯的芯层,增强了传感器对外界参量变化的敏感度。试验结果表明,该传感器能够应用于高温下测量,从常温至330℃范围内,温度灵敏度为15.5 pm/℃,拟合度为0.988;从330℃至580℃范围内,温度灵敏度为40.9 pm/℃,拟合度为0.996。此外,曲率在0.3622 m^(-1)~1.1454 m^(-1)范围内,曲率灵敏度为2.357 dB/m^(-1),线性拟合度为0.9717;折射率在1.3330~1.3652范围内,折射率灵敏度为-24.327 nm/RIU,线性拟合度为0.9899。该传感器制作简单,鲁棒性良好,体积小,能够实现高温、曲率和折射率的测量。