关键词:
激光加工
柔性可拉伸
压电超声换能器
超声阵列
成像定位
摘要:
超声因其方向性好、穿透性强、灵敏度高、对物体无损伤等特点,逐渐发展成为当今主流的一种检测与诊断手段。随着柔性电子和可穿戴设备的迅速发展对超声技术的带动,传统的压电超声换能器有向着小型化、柔性化、可穿戴化发展的趋势。柔性压电微超声换能器结构轻薄,机械灵活性好,能够适应不同的工作表面,满足多种场景对于器件的要求,成为了新型压电超声换能器的研究热点。众多高校及研究所对柔性压电微超声换能器进行了研究与探索,但仍面临器件结构复杂、加工制备过程繁琐、任意弯曲下阵元位置未知的难题。本论文以精简结构、提升可靠度为目标,提出了柔性以及柔性可拉伸的两种压电微超声换能器;通过对激光加工柔性材料做了细致的分析与表征,得到激光参数对材料烧蚀深度和表面形貌的影响规律,并基于此直接对多种柔性材料进行激光加工处理,方便快捷的完成了器件制备过程;搭建振动、机械、声学测试平台,研究两种压电微超声换能器在柔性状态下的性能稳定性;基于三维快速扫描技术提出用于获取弯曲状态下阵元位置的新方法,并探索平整以及弯曲状态下柔性可拉伸微超声换能器的成像定位应用。本论文的主要研究内容和成果如下:
1.根据传统刚性压电换能器的发展状态与趋势,分析换能器向小型化、柔性化发展的可行性,讨论现有柔性压电微超声换能器的结构与制备方式,提出将激光精密加工技术直接应用于柔性以及柔性可拉伸压电微超声换能器制备的新方法。
2.基于激光与材料相互作用时产生独特的烧蚀机理,研究加工过程中激光功率、重复频率、扫描速度、扫描次数对材料烧蚀去除效率以及最终加工质量的影响,得到激光参数对材料烧蚀深度和表面形貌的影响规律,实现对压电薄膜、柔性聚合物薄膜以及多层复合薄膜高质量的激光精密加工处理。
3.提出一种弯曲振动模式的柔性压电薄膜微超声换能器,通过设计空腔结构大范围调节压电薄膜的工作频率,基于薄板弯曲振动理论,对多层复合薄膜的共振频率进行理论和仿真计算。通过有限元仿真对器件结构进行优化,获得薄膜大幅度的弯曲振动以及阵元之间的低串扰水平。基于激光精密加工系统,提出“粘贴键合”技术方便快捷的完成器件制备。器件共振频率161.03k Hz,在46%的上凸弯曲程度下保持良好的性能稳定性,并通过搭建超声发射-接收测试系统,实现器件在空气中不同弯曲状态的超声发射以及不同距离的超声接收功能。
4.提出一种基于“岛-桥”结构的柔性可拉伸超声阵列,采用柔性铰链矩阵“桥”连接压电阵元“岛”,实现超声换能器阵列的柔性和可拉伸性。基于“岛-桥”结构,提出行-列寻址式电极配置,实现对阵元的多种方式激励,大幅减少引线数量,简化结构,降低失效风险。采用激光精密加工系统快速制备柔性铰链矩阵,通过“嵌入”工艺制备出10阵元柔性可拉伸线阵、3×3以及6×6柔性可拉伸面阵,成品率可达100%。柔性可拉伸阵列频率约为2 MHz,最大变形能力可达60%,在万次拉伸疲劳试验中能够保持性能稳定和机械结构完整。
5.通过搭建超声成像系统,实现平整状态下柔性可拉伸超声线阵对多根钢柱的成像定位,并通过改进线阵的扫描方式,抑制定位结果中的伪像,提升图像质量。研究使用非侵入式三维快速扫描技术直接获取柔性可拉伸超声阵列的阵元位置,探索一种快速、无创、低成本的曲面状态下阵元定位方法。通过阵元空间坐标转换,完成扫描模型与超声成像系统的耦合,最终实现柔性可拉伸二维面阵在曲面状态下对多根钢丝的超声成像定位。