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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4
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作者

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专题定制

橙皮素纳米晶体制备中药物结晶度、微结构对粒径减小效率的影响
刘涛 尹海鹏 刘孝天 
青岛科技大学化工学院制药工程系 山东青岛266000青岛市市北区人民医院 山东青岛266000
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ZrSiN纳米复合膜的显微结构、力学性能和强化机理
李伟 陈朋灿 刘京京 
上海理工大学材料科学与工程学院 上海200093中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室 上海200050
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TiAlN/TiN纳米多层膜的微结构与力学性能
胡春华 董学超 李淼磊 黄小忠 岳建岭 
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水泥基材料水化硬化机理与微结构形成研讨会将在济南召开
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宏观结构性能约束下的材料微结构拓扑优化
龙凯 王文伟 贾娇 
华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室 北京102206长沙理工大学工程车辆轻量化与可靠性技术湖南省高校重点实验室 长沙410114北京理工大学电动车辆国家工程实验室 北京100081北京航空航天大学航空科学与工程学院 北京100083
来源 详细信息
γ-Fe_2O_3/NiO核-壳纳米花的合成、微结构与磁性
李志文 何学敏 颜士明 宋雪银 乔文 张星 钟伟 都有为 
南京大学物理系固体微结构物理国家重点实验室 南京210093南京邮电大学理学院信息物理研究中心 南京210023河南工业大学理学院 郑州450001
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化学改性硅藻土制备阻燃材料及微结构研究
王亚超 赵江平 
西安建筑科技大学材料与矿资学院 西安710055
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汽车用铝-铜异种材料摩擦焊接微结构和力学性能研究
齐凯丽 李静 
新乡职业技术学院机械制造系 河南新乡453000新乡职业技术学院机电工程系 河南新乡453000
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NbSiN纳米复合膜的显微结构、超硬效应和机理的研究
陈朋灿 李伟 刘平 张柯 马凤仓 陈小红 何代华 
上海理工大学机械工程学院 上海200093上海理工大学材料科学与工程学院 上海200093
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
小籽粒种子排种物理机械特性参数的测量
张燕青 崔清亮 王丰 李红波 
山西农业大学工学院 山西太谷030801
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