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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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语言

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专题定制

纳米氧化物弥散强化310奥氏体钢的显微结构与拉伸性能
尹晨欣 贾皓东 周张健 郑文跃 
北京科技大学材料科学与工程学院 北京100083北京科技大学国家材料服役安全科学中心 北京100083
来源 详细信息
等离子体化学气相沉积工艺调控铜基-石墨烯复合薄膜材料微结构及电学热学性能研究
白雪园 刘显波 陈龙庆 王正上 杨勇飞 郑洲 
中国工程物理研究院化工材料研究所 绵阳621900四川警察学院公共安全实验室 泸州646000四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术重点实验室 成都610064四川省新材料研究中心 成都610000
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
Microstructure and Properties of Glass-Ceramics Containing Cu<sub>2</sub>O Nanocrystallines
Wu, Yuxin Lyu, Jieheng Ruan, Jian Tian, Chen Liu, Chao Han, Jianjun 
State Key Laboratory of Silicate Materials for Architectures  Wuhan University of Technology Wuhan 430070 ChinaInternational School of Materials Science and Engineering  School of Materials and Microelectronics) Wuhan University of Technology Wuhan 430070 ChinaSpecialty Glass Engineering Technology Research Center of Hubei Province  Wuhan 430070 China
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混合炸药微结构设计与制备研究进展
高涵 冯晓军 尚宇 张坤 
西安近代化学研究所 陕西西安710065
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Cu_(2)O纳米微晶玻璃的显微结构及性能研究
吴宇欣 吕杰衡 阮健 田晨 刘超 韩建军 
武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室 武汉430070武汉理工大学材料科学与工程国际化示范学院(材料与微电子学院) 武汉430070湖北省特种玻璃工程技术研究中心 武汉430070
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利用钒渣制备一种高强材料的性能与显微结构研究
张红 吕钰琪 赵健 邓成朝 顾嘉葆 程堽铨 
西安建筑科技大学华清学院 西安陕西710043中国核工业中原建设有限公司 宿州安徽235300
来源 详细信息
大幅面超薄基板表面微结构光学器件的微纳米压印关键技术分析
李明 丁进新 
深圳市汇创达科技股份有限公司 广东518100
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溶剂交换对水泥基材料微结构的影响
张爱 葛勇 
哈尔滨工业大学交通科学与工程学院 哈尔滨150000
来源 详细信息
PIP法制备C/SiOC复合材料的微结构演变与力学性能
郭蕾 马青松 陈雅琦 
国防科技大学空天科学学院新型陶瓷纤维及其复合材料重点实验室 长沙410073
来源 详细信息
Strategies for energy-efficient frontal polymerisation processing and microstructural evaluation of fibre reinforced composites
Staal, Jacobus Gerardus Rudolph 
Swiss Federal Institute of Technology in Lausanne 
来源 详细信息
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