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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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专题定制

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杨超 
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Rahmad Samosir Budiarto Sutan L.M.H. Simanjuntak 
Mechanical Engineering Study Programe  Faculty of Engineering Universitas Kristen Indonesia Jl. Major General Sutoyo no.2 Cawang Jakarta IndonesiaMechinical Engineering Department  Nommensen HKBP University Jl. Sutomo no. 4a Medan 20234 Indonesia.
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