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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:3300 期刊文献:1821 学位论文:1443 图书:32 标准:4
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作者

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石墨化处理对不同高织构含量C/C复合材料微结构的影响
李伟 李贺军 魏建锋 张守阳 傅杨茜 王沛 
西北工业大学高温热结构复合材料重点实验室C/C复合材料研究中心 陕西西安710072
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
Effect of carbon nanotube on mechanical and 2D-3D microstructure properties of cement mortars with silica fume
Liu, Qiaoling Sun, Wei Ma, Zhengxian Jia, Liqun Pang, Lufeng 
School of Materials Science and Engineering  Southeast University Nanjing211189  ChinaSchool of Civil Engineering  Shandon Jianzhu University Jinan250101  China
来源 详细信息
应用微结构配光材料的格栅灯光学性能研究
刘言 吴大鸣 王海军 郑秀婷 
北京化工大学 北京100029高分子材料加工装备教育部工程研究中心 北京100029
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超细的显微结构使超硬材料变得更硬
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模板组装微结构技术在贵金属新材料开发中的应用
刘大博 祁洪飞 滕乐金 罗飞 田野 
北京航空材料研究院结构钢、功能材料与热处理工艺研究室 北京100095
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辐照温度对钨材料表面微结构的影响
安泰岩 范红玉 王研 王翔 李月 
大连民族学院物理与材料工程学院 大连116600
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熔渗温度对MoSi_2(Cr_5Si_3)-RSiC复合材料显微结构和性能的影响
高朋召 张小亮 黄诗婷 刘井雄 肖汉宁 
湖南大学材料科学与工程学院 长沙410082西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 西安710049
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磷离子注入石英基纳米金刚石薄膜的微结构和电学性能研究
赵海啸 
浙江工业大学 浙江杭州310000
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水热合成ZnO:Cd纳米棒的微结构及光致发光特性
王长远 杨晓红 马勇 冯媛媛 熊金龙 王维 
重庆师范大学光学工程重点实验室 重庆400047
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封装基板中溅射纳米Ti层的微结构
吕平 俞宏坤 罗光淋 欧宪勋 黄建华 陆松涛 
复旦大学材料科学系 上海200433日月光半导体(上海)有限公司新技术研发部 上海201203
来源 详细信息
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