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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:3300 期刊文献:1821 学位论文:1443 图书:32 标准:4
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作者

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银纳米线电极微结构对柔性压力传感器灵敏度的影响
侯玉群 莫黎昕 翟庆彬 李路海 
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汪贤 朱伯铨 李享成 马铮 魏莹 
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王建鹏 李伟 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
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提纯土状石墨对铝碳材料显微结构和力学性能的影响
梁雄 李亚伟 张雨 桑绍柏 王庆虎 
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