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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:3300 期刊文献:1821 学位论文:1443 图书:32 标准:4
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作者

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表面活性剂对铝掺杂二氧化钛粉体材料微结构与光催化性能的调控
刘少友 唐文华 杨红芸 骆晨燕 蒋天智 
凯里学院化学与材料工程学院应用化学研究所 贵州凯里556011
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纳米超高性能水泥基复合材料微结构演变研究
戎志丹 王瑞 林发彬 
东南大学材料科学与工程学院 江苏省土木工程材料重点实验室南京211189巴斯夫化学建材(中国)有限公司 上海200137
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多向轴编C/C复合材料微结构Micro-CT原位扫描与拉伸破坏机理
许承海 徐德昇 宋乐颖 徐凯 
哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室 哈尔滨150001
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低温超音速火焰喷涂纳米WC-10Co4Cr涂层的显微结构和性能
邓春明 韩滔 张小峰 刘敏 
广州有色金属研究院 广州510651中南大学材料科学与工程学院 长沙410083
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膜分散微结构反应器制备纳米氧化锌的实验及模型
黄翠 王玉军 骆广生 
清华大学化学工程系、化学工程联合国家重点实验室 北京100084
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备
李阳 徐维 王忆 陈奎 朱铭佳 潘雅雯 梁景生 
五邑大学应用物理与材料学院 广东江门529020西安交通大学先进制造技术研究所 西安710049
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烧结工艺对刚玉/莫来石/钛酸铝复相材料晶相与显微结构的影响
王成勇 陈捷 
福州大学材料科学与工程学院 福州350108福建工程学院土木工程系 福州350108
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纳米La^(3+)-Eu^(3+)共掺杂CeO_2基固溶体的合成及微结构表征
张国芳 张羊换 葛启录 刘卓承 张巍 张胤 
钢铁研究总院功能材料研究所 北京100081内蒙古科技大学稀土学院 内蒙古包头014010
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CrAlN/TiAlN纳米多层膜的微结构及其性能研究
苏波 钟春良 罗兰娥 
湖南工业大学理学院 湖南株洲412007
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
微注射压缩成型超疏水表面的微结构设计和调控
关伟盛 黄汉雄 汪斌 
华南理工大学塑料橡胶装备及智能化研究中心 广州510640
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