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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 59 篇 山东大学
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  • 46 篇 武汉大学
  • 45 篇 兰州理工大学
  • 45 篇 武汉理工大学
  • 43 篇 兰州大学
  • 41 篇 华中科技大学
  • 40 篇 西安交通大学

作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
  • 14 篇 张泽
  • 12 篇 任淮辉
  • 12 篇 黄伯云
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  • 11 篇 顾明元
  • 11 篇 朱健民
  • 11 篇 李楠
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  • 9 篇 洪彦若
  • 9 篇 李勇
  • 8 篇 孙加林
  • 8 篇 李亚伟
  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
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  • 121 篇 其他
  • 5 篇 日文
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专题定制

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徐一飞 
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二氧化钛纳米材料微结构调控与光催化氨氮降解性能研究
邹婷彦 
扬州大学 
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重庆师范大学 
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功能碳材料的微结构调控及其储钠性能研究
邵渊 
北京化工大学 
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刚/柔性骨架聚膦腈微结构设计及其吸附性能研究
张晓帆 
郑州大学 
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基于界面改性与微结构调控的无铅自润滑复合材料摩擦学性能研究
刘聪 
合肥工业大学 
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南昌航空大学 
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高模量碳纤维表面微结构演变及其对树脂基复合材料界面改性机理研究
张月义 
北京化工大学 
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MXene基复合材料微结构设计及其电化学性能研究
惠晓斌 
山东大学 
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高性能SnTe基热电材料的能带结构和微结构协同优化研究
雷康 
广州大学 
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