关键词:
磁控溅射
纳米结构薄膜
微观结构
力学性能
摩擦学性能
摘要:
摩擦磨损对人类社会进步有着重要影响,而润滑作为减摩耐磨性能提升的主要方式是保证机械传动效率和可靠性的主要途径之一。传统润滑油/脂适用温域窄且对环境有害,故利用表面工程理论研发宽温域减摩耐磨绿色薄膜材料以满足当今机械工程技术需求具有重要意义。本文基于胶囊缓释思想,运用多组元协同润滑理论,利用磁控溅射技术,通过非晶硬质SiN相/层的添加实现对室中温润滑相Ag以及高温润滑相MoN的缓释和与氧环境的隔离。设计并制备了三种薄膜材料:MoN-Ag-SiN复合膜以及MoN-Ag/SiN和MoN-SiN/Ag-SiN多层膜,通过研究保护相和各润滑相间的相互作用,获得基于各摩擦反应生成物的温度循环条件下的润滑行为规律,为设计和制备具有宽温域长效润滑性能的绿色MoN基复合和多层薄膜提供实验支持。具体研究内容如下:(1)利用磁控溅射系统制备具有不同Si含量的MoN-Ag-SiN纳米结构复合膜,并对这类薄膜材料进行了微结构、力学性能、室温摩擦磨损性能及600℃高温摩擦磨损性能的研究。结果表明MoN-Ag-SiN复合膜由fcc-MoN相、fcc-Ag相和非晶SiN相三相组成。随着Si含量的升高,复合膜硬度先略有升高后保持稳定(其值与SiN相近),而Si含量对复合膜室温以及600℃环境下的摩擦磨损性能影响显著。室温环境下复合膜摩擦系数随Si含量的升高略有下降(Si含量小于1.3 at.%)后保持稳定。而薄膜的磨损率则随着Si含量的增加先下降后上升,这主要是受到薄膜硬度的影响。在600℃摩擦条件下,随着Si含量的增加,薄膜的摩擦系数和磨损率均先下降后上升,主要原因是适当的添加Si含量可以有效控制润滑相在高温条件的迁移,使薄膜的润滑时间更长,此时薄膜的具有良好的润滑性能和力学性能,因此摩擦系数和磨损率均下降,而过多的Si含量则会降低薄膜的自润滑性能,导致薄膜润滑性能下降,而过多的Si含量会导致摩擦过程中产生大量硬质磨屑,从而导致磨损率上升。(2)利用磁控溅射系统制备了调制比(MoN-Ag与SiN调制层厚度比)为3:1,调制周期(∧,MoN-Ag和SiN调制层厚度)为8到200nm的MoN-Ag/SiN多层膜。研究结果表明,在MoN-Ag调制层为fcc-MoN和fcc-Ag相双相组成,SiN调制层的SiN为非晶相。当将调制周期从8 nm增加到64 nm时,薄膜的室温润滑性能和耐磨性均有所改善,这归因于薄膜中润滑层MoN-Ag厚度的增加提升了薄膜的润滑性能,同时此阶段薄膜具有相对较高的硬度,因此薄膜的磨损率也有所下降。而当调制周期进一步增加时,薄膜的耐磨性有所下降,这是因为MoN-Ag厚度过高导致薄膜的硬度下降,且SiN层厚度的增加使得硬质碎屑也增多,两者导致薄膜的耐磨性下降。调制周期为64 nm的多层膜表现出出优异的室温到500°C高温温度循环摩擦性能。较好的力学性能和两种调制层之间的协同作用是MoN-Ag/SiN多层膜具有优异摩擦学性能的主要因素。(3)利用磁控溅射系统制备了MoN-SiN调制层厚度10 nm,Ag-SiN调制层厚度在2-12 nm之间的MoN-SiN/Ag-SiN纳米结构多层膜,并进行了微结构、力学性能、室温摩擦磨损性能及600℃高温摩擦磨损性能表征。研究结果表明,MoN-SiN调制层是fcc-MoN相和非晶SiN相构成,Ag-SiN调制层由非晶SiN和fcc-Ag相两相组成。多层膜两调制层界面清晰,多层膜的室温摩擦磨损性能受Ag-SiN调制层厚度影响较大:随着Ag-SiN调制层厚度的增加磨损率先下降后上升,这主要受到多层膜硬度的影响,硬度的升高有利于薄膜的耐磨性,此时磨损率下降,而硬度下降则会导致薄膜更易于被磨损,此时磨损率上升,摩擦系数随Ag-SiN调制层厚度的增加而略微下降,这是由于室、中温Ag相的含量随着Ag-SiN调制层厚度的增加而上升,为薄膜提供了良好的室温润滑性。多层膜的600℃高温减磨性能优异,且几乎不受Ag-SiN调制层厚度影响,这主要是由于在高温与摩擦副滑动双重作用下发生了摩擦物理、化学反应,生成的摩擦相能够为薄膜提供优异的高温润滑性,而薄膜在高温下保持持续的低摩擦系数也缓解了摩擦副与磨痕间的相互作用,从而使得耐磨性也受调制层厚度变化的影响不大。