关键词:
电子封装
放电等离子烧结(SPS)
Cu/Invar复合材料
形变热处理
界面调控
显微组织
热导率
摘要:
我国军事及民用功率电子器件的快速发展迫切需要开发新型高强、高导、低膨胀电子封装材料。Cu/Invar复合材料综合Cu高导热及Invar低膨胀、高强等性能优势,兼具优良的加工、电镀与钎焊性能,有望克服W(Mo)/Cu与高体分SiCp(Sip)/Al基复合材料加工性能与工艺性能差的缺点,成为新型电子封装材料中强有力的候选者。
本论文采用等离子体烧结(SPS)+形变热处理+等温退火工艺制备了 Cu/Invar复合材料。基于SPS低温快烧、优选Invar粒径及Invar颗粒表面化学镀Ag,实现Cu/Invar复合材料的界面调控;借助于形变热处理及等温退火,实现完全致密化,并调控Cu晶粒尺寸,优化复合材料的显微结构,提高性能。建立数学模型,揭示Cu晶粒生长行为以及复合材料热导率(TC)与其显微结构的关系,为新型高强、高导、低膨胀Cu/Invar复合材料的开发奠定基础。主要研究内容与结论如下:
1)基于正交试验方案,以复合材料的TC、热膨胀系数(CTE)和抗拉强度(Rm)为指标,优化SPS工艺参数。Cu含量由30 wt.%增加至50 wt.%,Cu趋于连续分布,Cu/Invar复合材料的致密度、TC及CTE增大,Rm降低;烧结温度由700℃升高至800℃时,Cu/Invar界面扩散加剧,界面结合强度提高,Rm增大,但TC降低;烧结压力由40 MPa增大至50 MPa时,复合材料的致密度及界面结合强度提高,TC和Rm增大,CTE降低,继续增大烧结压力至60 MPa,界面扩散加剧,复合材料的Rm增大,TC反而降低。以TC为指标时,最佳的Cu/Invar复合材料SPS工艺参数为:真空环境,烧结压力50 MPa,烧结温度700℃,Cu含量50 wt.%。
2)采用粒径分别为26 μm及105 μm的两种Invar合金粉体为原料,采用优化的工艺参数,SPS烧结制备50 wt.%Cu/Invar复合材料。细Invar颗粒(f-Invar)在Cu基体中呈半连续状分布,均匀性低,构成Cu/f-Invar小角度共格相界,界面扩散大,界面结合强度较高。相较而言,粗Invar颗粒(c-Invar)在Cu基体中随机分布,均匀性高,构成Cu/c-Invar大角度相界,界面扩散小,界面结合强度低。因而,虽然50 wt.%Cu/c-Invar复合材料的Rm较低,但其TC更高,可达130.1 W/(m.K),接近于H-J模型的上限值。
3)采用化学镀工艺,在c-Invar粉体颗粒表面均匀包覆厚约1-2 μm的Ag层,合成Ag(Invar)复合粉体,SPS烧结制备50 wt.%Cu/Ag(Invar)复合材料。Ag镀层与Cu基体构成小角度相界面,与Invar构成大角度界面;该镀层可有效抑制Cu/Invar界面扩散,提高界面结合强度,提高复合材料的致密度,因而提高复合材料的Rm 和 TC。50 MPa,50MPa,700 ℃保温 1 min SPS 烧结 50 wt.%Cu/Ag(Invar)复合材料的 TC 高达 151.6 W/(m.K)。
4)对 SPS 烧结 50 wt.%Cu/c-Invar 及 50 wt.%Cu/Ag(Invar)复合材料进行压下量5%-35%多道次冷轧+氩气气氛下400℃保温1 h退火的形变热处理,进一步消除气孔,提高复合材料的致密度。形变热处理后,复合材料界面结构未发生变化,但促进了 Cu基体中纳米Ag及Fe-Ni颗粒的析出。随着形变量的增大,复合材料中Invar颗粒与Cu基体的变形协调性增大,复合材料的拉伸力学性能明显提高。但变形量的增大也导致Cu及Invar的取向性增大,形成{112}<111>Copper等多种典型的fcc金属变形织构;同时也Invar颗粒的长径比增大,Cu/Invar界面热阻增大,复合材料的TC降低。
5)对形变热处理后的50 wt.%Cu/Invar及50 wt.%Cu/Ag(Invar)复合材料进行最终等温退火处理,以调控Cu基体的晶粒尺寸,进一步提高复合材料的TC。600℃等温退火过程中,复合材料中Cu晶粒生长动力学模型分别为:Cu/Invar:d2.876-d02.876=2.172×1026×t1.899×exp[-481968/(RT)]Cu/Ag(Invar):d4.013-d04.013=4.604×1039×t1.794×exp[-559065/(RT)]复合材料TC与Cu基体晶粒尺寸的对应关系模型分别为:Cu/Invar:λc*=(6.649+0.312f(d))/(1.824+0.858f(d))f(d)Cu/Ag(Invar):λc*=(23.886+0.329f(d))/(5.3+0.851f(d))f(d)f(d)=400d/(39.3×10-9d+d+400×10-9))复合