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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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机构

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作者

  • 24 篇 李旭东
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语言

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专题定制

木质纤维素基纳米TiO2复合气凝胶的制备及其对四环素的吸附降解机制
邹湘媛 
广西大学 
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可再生多孔碳材料的微结构调控及电化学性能研究
闵佳玉 
西南科技大学 
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Incorporation of Cast and Wrought Aluminum Microstructures into Introductory Materials Lab
Contreras, Zane 
California State University  Sacramento
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铌酸盐基铁电材料中的微结构与性能调控研究
黄小夏 
广西师范大学 
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冷烧结Bi2Te3基热电材料的微结构缺陷及其对热电性能的影响
赵子淳 
华中科技大学 
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SmFe12基永磁材料微结构调控和磁化行为研究
李迎畅 
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石墨烯基材料的高效制备、微结构调控及储能应用研究
叶传仁 
中国科学技术大学 
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梯度纳米结构316L不锈钢板的微结构表征与拉伸力学性能研究
王哲衡 
浙江工业大学 
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基于微结构阵列及低维材料的太赫兹功能器件的研究
徐一飞 
深圳大学 
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梯度纳米结构Nd2Fe14B/α-Fe复合磁体与FeSiB软磁体的微结构与磁性研究
褚桂崧 
燕山大学 
来源 详细信息
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