关键词:
柔性压力传感器
灵敏度
电容
微结构
可穿戴应用
摘要:
随着人工智能和万物互联时代的到来,智能可穿戴技术越来越受到大家的关注,其中智能感知是实现可穿戴设备功能的重要角色,而柔性压力传感器则是起到这一作用的关键核心,它的应用场景非常广泛,包括医疗健康、智能假肢、运动监测、触觉传感等方面。柔性压力传感器可以将外界施加的压力转换为电学信号,包括电容、电阻、电压等,按照可转换的信号不同主要可分为电容式压力传感器、电阻式压力传感器、压电式压力传感器和摩擦电式传感器。其中,电容式压力传感器因其结构简单、灵敏度高、响应速度快和环境稳定性高而受到广泛研究。获得更高的灵敏度一直是广大科研工作者所追求的目标之一。为了提高传感器的灵敏度,采用微结构设计是目前常用的手段,通过在介电层或者电极层上制作微结构,当施加压力时,微结构会改变介电层的力学性能,一方面可以产生较大的形变,提高其灵敏度;另一方面还可以推后应力下的应变饱和状态,从而对压力的检测范围也有所增大。然而,通过光刻生产模板制作微结构的方式复杂且昂贵,不利于大规模制备,而且只采用单一微结构的传感器性能会受到限制。本文中采用多种微结构相结合并且制作工艺简单、成本低廉的方案制备了三种柔性电容式压力传感器,主要研究成果如下:
1.基于3,4-乙烯二氧噻吩(3,4-Ethylenedioxythiophene,EDOT)原位聚合掺杂热塑型聚氨酯微孔泡沫(Thermoplastic Polyurethanes,TPU)的电容式压力传感器的制备和性能研究。首先利用气相聚合(Vapour phase Polymerization,VPP)的方法,将TPU泡沫在EDOT单体的气氛中进行聚合得到导电聚合物PEDOT,然后进一步优化介电层,在掺杂的TPU泡沫上下两面分别旋涂金字塔微结构的聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)薄膜。最终优化后的传感器灵敏度高达0.554 k Pa,传感范围为0-30 k Pa,响应时间和恢复时间分别为53 ms、153 ms,最低检测限为6.7Pa,循环稳定性良好(>6000 cycles)。最后设计了不同的可穿戴应用场景,证明了其在点击鼠标、手指弯曲、肘部弯曲等方面的应用潜力。
2.基于钛酸钡(Barium Titanate,BaTiO)嵌饰聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)多孔结构的电容式压力传感器的制备和性能研究。首先提出了一种柔性可行性电极的制备方法,即采用TPU静电纺丝膜作为柔性基底,然后使用蒸镀、印刷等方式制作导电层,本文中选择在纺丝膜上真空蒸镀的方法作为电极的制备手段。最终制备的电极具备轻质、柔性、弹性好的优点,介电层选择在PDMS中嵌饰BaTiO纳米颗粒,然后使用盐模板制作多孔结构,最终得到的传感器灵敏度为0.205 k Pa,传感范围为0-40 k Pa,检测限为6.7 Pa,循环稳定性良好(6000cycles)。最后设计了不同的可穿戴应用场景,探究了其在点击鼠标、手指弯曲、腿部弯曲、颈椎弯曲等方面的应用潜力。
3.基于纳米纤维膜和微柱结构相结合的双介电层电容式压力传感器的制备和性能研究。首先提出了一种柔性复合电极,利用PDMS和一维碳纳米管(Carbon Nanotubes,CNT)、二维材料(MXene)物理混合的方式,制备了一体式复合电极,然后采用双层介电层的设计方案来同时实现高灵敏度和宽传感范围,双层介电层分别为一层静电纺丝膜和一层微柱结构的PDMS薄膜,然后对电极进一步做了微结构设计,分别为金字塔和微脊结构。最终优化后的传感器灵敏度为0.023 k Pa,超宽传感范围0-250 k Pa,响应时间和恢复时间分别为71 ms和117 ms,最低检测限为25 Pa,循环稳定性良好。最终设计了不同的应用场景,探究了其在关节弯曲、抓握物体、表情识别等方面的应用,并且还制备了4×4传感器阵列用来进行压力分布识别检测以及设计了一款智能鞋垫用来监测足底情况。