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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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作者

  • 23 篇 李旭东
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语言

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专题定制

两种纳米材料对纤毛虫绿草履虫超微结构的影响
谭炳钰 巩志伟 王奕文 倪兵 
华东师范大学生命科学学院 上海200241华东师范大学物理与电子科学学院 上海200241
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压应力对FeMnCuSiBNb纳米晶合金磁导率与微结构的影响
张博峻 杨富尧 贺爱娜 董亚强 黎嘉威 
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微型机械电子系统(MEMS)行业竞争格局与发展趋势分析
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张旭东 邓俊楷 马大衍 曹慧颖 张瑞谦 唐睿 
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胡玲玲 贾永胜 孙金山 姚颖康 刘昌邦 谢全民 
省部共建精细爆破国家重点实验室 江汉大学武汉430056爆破工程湖北省重点实验室 江汉大学武汉430056湖北(武汉)爆炸与爆破技术研究院 江汉大学武汉430056武汉爆破有限公司 武汉430056
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李靖 金鹏 崔明焕 朱亚滨 刘超 Vladimir Krsjak 魏孔芳 庞立龙 盛彦斌 申铁龙 王志光 
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Super-resolution microscopy to visualize and quantify protein microstructural organization in food materials and its relation to rheology: Egg white proteins
Bonilla, Jose C. Clausen, Mathias P. 
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来源 ScienceDirect Journal ScienceDirect Journa... 详细信息
Cavitation erosion mechanism and microstructural design of pure titanium
Wang, Zhenhua Zhang, Bing 
Yanshan Univ  Sch Mech Engn Qinhuangdao 066004 Hebei Peoples R ChinaYanshan Univ  State Key Lab Metastable Mat Sci & Technol Qinhuangdao 066004 Hebei Peoples R ChinaGuilin Univ Technol  Minist Educ Key Lab New Proc Technol Nonferrous Met & Mat Guilin 541004 Peoples R China
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静电纺微结构纳米纤维空气过滤膜研究进展
郝天煦 张林 王新亚 陈明星 张威 
河北科技大学 河北石家庄050018河北省纺织服装技术创新中心 河北石家庄050018河北省柔性功能材料重点实验室 河北石家庄050018
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