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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

  • 22 篇 李旭东
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  • 15 篇 钟香崇
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语言

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专题定制

纳米Fe基软磁合金的制备及微结构研究
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刘敬松 
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海水侵蚀下砼材料的微结构演化及宏观力学性能的研究
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内蒙古工业大学 
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Microstructural design of PZT ceramics
Pérez, JA Soares, MR Mantas, PQ Senos, AMR 
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原位合成钛基复合材料的制备、微结构及力学性能
吕维洁 张荻 
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水泥陶瓷材料显微结构实验室分析方法
白开寅 
长安大学地球科学与国土资源学院 710054 
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