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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4
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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
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语言

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纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究(英文)
刘英才 尹衍升 李静 李嘉 初蕾 
中国海洋大学材料科学与工程学院 河北科技大学材料科学与工程学院 石家庄050054山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室 工程陶瓷山东省重点实验室济南250061
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PECVD法制备的硅纳米线微结构和光学性质
曾湘波 
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河北工业大学材料学院纳米复合材料研究室 天津300130
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Univ Rhode Isl  Dept Mech Engn & Appl Mech Kingston RI 02881 USA
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飞秒激光在金属纳米材料制备和材料微结构加工中的应用
孟宪赓 赵崇军 邱建荣 
中科院上海光学精密机械研究所 上海201800
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