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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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专题定制

过渡族金属及合金片状纳米颗粒的微结构与磁性研究
秦勇 
兰州大学 
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纳米多层膜的界面微结构与超硬度
徐益 钟富平 黄楠 
西南交通大学材料学院 四川成都610031重庆工业职业技术学院 重庆400050
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Co/Al<,2>O<,3>纳米复合材料的制备、微结构与磁性
王刚 
兰州大学 
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Microstructural observation on the bond interface in A3003/SUS304L clad material - Characteristics of the bonded zone in A3003/SUS304L clad material produced using vacuum roll bonding (Report 1)
Kawano, Takayuki Matsui, Masakazu Nishio, Kazumasa Katoh, Mitsuaki Hirata, Masahiro 
Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Kyushu Institute of Technology Choryo Engineering Ltd. 
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(Ca<,1-x>Mn<,x>)<,3>Co<,4>O<,9+δ>热电材料的制备、微结构与相关物性研究
顾永军 
安徽理工大学 
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Optimal microstructural design of a catalytic premixed FeCrAlloy fiber burner for methane combustion
Ugues, D Specchia, S Saracco, G 
Politecn Torino  Dipartimento Sci Mat & Ingn Chim I-10124 Turin Italy
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碳纳米管的修饰及其微结构表征
李霞 
山东大学 
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PECVD法制备的硅纳米线微结构和光学性质
曾湘波 
中国科学院半导体研究所 
来源 详细信息
水泥基复合材料微结构破坏声发射研究
陈兵 吕子义 周钟鸣 
上海交通大学建筑工程与力学学院 上海200240同济大学混凝土材料研究国家重点实验室 上海200092
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掺杂Sb对纳米TiO_2薄膜的超亲水性和微结构的影响(英文)
任达森 贝宗敏 黄丽 沈杰 崔晓莉 杨锡良 章壮健 
复旦大学材料科学系 上海200433
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