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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 46 篇 武汉大学
  • 45 篇 兰州理工大学
  • 45 篇 武汉理工大学
  • 43 篇 兰州大学
  • 41 篇 华中科技大学
  • 40 篇 西安交通大学

作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
  • 14 篇 张泽
  • 12 篇 任淮辉
  • 12 篇 黄伯云
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  • 9 篇 洪彦若
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  • 8 篇 孙加林
  • 8 篇 李亚伟
  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
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  • 5 篇 日文
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专题定制

几种低维纳米材料的制备及微结构特征
马希骋 
山东大学 
来源 详细信息
Microstructural defects in Ba(Mg<sub>1/3</sub>Ta<sub>2/3</sub>)O<sub>3</sub> microwave dielectric materials
Chou, CC Tsai, DS Lin, IN Steeds, J 
Natl Taiwan Univ Sci & Technol  Dept Mech Engn Taipei 106 TaiwanNatl Taiwan Univ Sci & Technol  Dept Chem Engn Taipei 106 TaiwanNatl Tsing Hua Univ  Ctr Mat Sci Hsinchu 300 TaiwanUniv Bristol  Dept Phys Bristol BS8 1TL Avon England
来源 详细信息
Microstructural characteristics of (Pb<sub>1-x</sub>Ca<sub>x</sub>)TiO<sub>3</sub> materials
Chou, CC Su, IW Tsai, DS Lin, IN 
Natl Taiwan Univ Sci & Technol  Dept Mech Engn Taipei 10672 TaiwanNatl Taiwan Univ Sci & Technol  Dept Chem Engn Taipei 10672 TaiwanNatl Tsing Hua Univ  Ctr Mat Sci Hsinchu 30043 Taiwan
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纳米多孔无机材料的显微结构设计
张雯 王红洁 金志浩 
西安交通大学材料科学与工程学院 西安710049
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
纳米颗粒填充的PTFE微结构的原子力显微镜测量
党学明 陈宇航 乐启发 张成德 黄文浩 
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 安徽合肥230026浙江衢州巨化集团技术中心 浙江衢州324004
来源 详细信息
The kinetics of nanocrystallization and microstructural observations in FINEMET, NANOPERM and HITPERM nanocomposite magnetic materials
McHenry, ME Johnson, F Okumura, H Ohkubo, T Ramanan, VRV Laughlin, DE 
Carnegie Mellon Univ  Dept Mat Sci & Engn Pittsburgh PA 15213 USAABB Inc  Raleigh NC 27606 USA
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Fe_3B基纳米复合永磁材料的微结构和性能
刘汉强 高汝伟 韩广兵 
山东大学 山东大学物理与微电子学院 济南市250100
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铬酸镧材料的微结构研究
李胜利 刘伟明 孙良成 敖青 
山东大学材料科学与工程学院 山东济南250061
来源 详细信息
微粉增强水泥基复合材料的早期界面显微结构研究
冯奇 巴恒静 范征宇 杨英姿 高小建 
哈尔滨工业大学土木工程学院 哈尔滨150006
来源 详细信息
TiO_2纳米薄膜的微结构控制
李谦 祝迎春 毛立群 张治军 华贲 
河南大学 开封475001华南理工大学化工所 广州510640
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