关键词： 软刻蚀   PDMS印章   微接触印刷   微模塑   毛细微模塑   环氧树脂   纳米复合材料   微乳液  

摘要： 当前半导体工业的需求是更微细更高密度的加工,微米纳米加工技术的极限一再被突破,设备和加工工艺的费用也不断提高.为了降低费用并且适应器件制备的需要,人们对光刻以外的方法给予了很大的关注,比如近些年出现的软刻蚀、纳米压印、通过高分子自组装制备微纳结构等技术……在这些新兴工艺中,软刻蚀是很有特色的一种,应该引起中国学者的关注.在该博士论文中,将软刻蚀这种微制造新方法和材料学结合起来,制备功能性的材料微结构.同时我们也论述了高分子的热微模塑微结构制备方法.在论文的第二部分,我们介绍了一种利用环氧树脂/水微乳液方法制备硫化镉/硫化铅/环氧树脂纳米复合材料的微反应新方法.

关键词： 软X射线   多层膜   界面粗糙度   界面过渡区   退火模拟  

摘要： 该文基于循环光学模型,计算了各种非理想软X射线光学多层膜的镜向反射率,发现调制周期和层厚比对Bragg峰的角位置有明显的影响,而界面粗糙和界面成份扩散则会使反射曲线产生不同的强度分布,因此通过对反射率曲线的拟合可以计算出多层膜的调制周期、层厚比和界面粗糙度等参数.但由于计算模型中采用了大量近似,因而对平均折射率和层厚比的计算会产生较大的误差.当界面粗糙和界面成份扩散同时存在时,两者对多层膜镜向反射率的影响难以区分.计算结果表明,只考虑其中一种非理想因素的处理方法并不能反映多层膜的真实情况.我们采和I. Page的计算模型,考虑界面粗糙和界面扩散对掠入射X光反射率的共同作用,得到了较好的结果.

关键词： 快速凝固   纳米晶   微结构   疲劳   穆斯堡尔谱   Al-Fe-V-Si-Nd纳米晶薄带  

摘要： 利用透射电子显微镜、X射线衍射分析和穆斯堡尔谱分析技术研究了快凝Al Fe V Si Nd纳米晶薄带在疲劳过程中微结构变化 ,结果发现 :固溶元素自α Al晶内析出产生偏聚体 ,同时 ,X射线衍射谱出现一个额外的衍射峰。穆斯堡尔谱分析表明 :X射线衍射谱中额外的衍射峰是由于疲劳过程中析出相 (Al8Fe4 Nd1 相 )

关键词： 纳米TiO   微乳液   淬火   掺杂   光催化  

摘要： 该文的工作除了考察纳米TiO<,2>的平均颗粒直径、颗粒分散性、颗粒大小、均匀性、晶型等微结构问题之外,还着重研究了纳米TiO<,2>的颗粒几何形状调控、氧化物和硫化物掺杂对其表面结构的影响(通过光催化效果表征)等问题.采用span-80作表面活性剂,在W/O微乳液中制备出具有一定几何形状、团聚相对较小、光催化性能较好的纳为TiO<,2>;同时在热分解制备纳米TiO<,2>的后续处理过程中采用硅油淬火改性,淬火改性对产物的晶型、大小和光催化性能影响不大,但颗粒团聚程度降低,极大地提高了TiO<,2>在水中的悬浮性;在纳米TiO<,2>的制备过程中进行Fe<\'3+>、Ni<\'2+>、Zn<\'2+>离子掺杂,焙烧温度较高时形成固溶体,光催化活性下降;利用不同的硫化物ZnS、NiS、CdS对TiO<,2>复合,初步表明对TiO<,2>的微结构影响很小,光催化活性顺序为TiO<,2>-Zns>TiO<,2>-CdS>TiO<,2>-NiS,最后通过计算及实验对比探讨了CdS的热稳定性.

关键词： PROCESS DEVELOPMENT   Orientation relationships   silver ions   silver bromides   corners   Silver   Cytoskeletal Filaments   Developmental stages   microtectonics   point of view  

摘要： Using transmission electron microscopy the development of photothermographic materials has been investigated from a microstructural point of view. The early stages of development were examined by quenching the partially processed materials. Within a few seconds after the beginning of thermal processing, small silver filaments nucleate at the corners of AgBr grains and grow towards the matrix. Each filament is a single crystal of fcc silver, however there is no clear orientation relationship with the AgBr mother lattice. In contradiction to the widely adopted point of view, the interfaces between silver bromide and silver behenate crystals do not play a direct role in the development process, since the nucleation and growth of silver filaments occurs even in the absence of such interfaces. The filament growth was also observed by heating inside the microscope column under the electron beam, although in this case the growth mechanism and the source of Ag ions were different from those for the development in real conditions. At the second stage, silver initiates the reduction of silver ions in the matrix around AgBr grains. The reduced silver is deposited as a coagulate of small metallic particles forming large and dense broccoli-type silver conglomerates.

关键词： image analysis   representative volume element   HY-100 steel   second phase particles  

摘要： The length scale over which microstructural statistical quantities fluctuate was measured using image analysis. The data show that these quantities stabilize over different length scales due to a non-uniform distribution in second phase particles. These results have implications in choosing representative volumes of materials for mechanical testing and analysis. Published by Elsevier Science Ltd. on behalf of Acta Materialia Inc.

关键词： 纳米晶合金   微结构   磁性   铁磁性材料  

关键词： 纳米锆基复合储氢材料   镁基纳米碳管复合储氢材料   吸放氢动力学行为   合金化镁氢化物   离散变分方法  

摘要： 该文以电动汽车用镍氢动力蓄电池负极及质子交换膜型燃料电池氢源所需的储氢材料研制为背景,针对锆基AB<,2>型合金活化性能及大电流放电性能差、镁吸、放氢工作温度高和氢化动力学性能差等问题,运用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM),以及BT2043电池测试系统、AMC气体反应控制器、储放氢实验测试装置等手段,系统研究了新型(锆基、镁基)复合储氢材料的显微结构、电化学性能、储放氢性能、热力学性能和动力学特性,并采用基于第一原理密度泛函理论的离散变分方法(DVM),计算研究了合金化镁氢化物电子结构和化学键的基本规律.主要结论如下: 1.采用特殊组合的不同工艺技术(快速凝固、真空烧结和高能球磨),研制成新型纳米锆基复合储氢材料AB<,2<\'->>x wt.%Mg(x=10、20、40)(BMS-球磨复合+烧结处理,MMS-机械复合+烧结处理).对比研究了复合材料电极的放电容量、活化性能以及大电流放电性能,分析探讨了微结构与电化学行为之间的相互关系.2.采用加氢反应球磨方法制备了镁基多壁纳米碳管复合储氢材料.分析了多壁纳米碳管在镁基复合材料中微观结构.研究了镁基复合材料的储放氢量、吸放氢动力学及热力学性能.3.采用基于第一原理的密度泛函理论的离散变分方法(DVM),建立了镁氢化物MgH<,2>团簇模型,研究了MgH<,2>的电子结构与成键特性.

关键词： 微机电系统   微电子学   精密机械加工   微器件   微结构设计   MEMS   制造工艺   系统种类  

摘要： 始于 2 0世纪 60年代的微机电系统 (MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是 2 1世纪的核心技术之一 .介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件。

关键词： 复合材料   扭转   轴截面微结构   拓扑优化   均匀化方法   胞体材料  

摘要： 提出复合材料扭转轴截面微结构拓扑优化设计新模型,模型的优化目标是获得具有最大宏观剪切特性加权和的单胞形式.通过模型和均匀化方法及优化技术可以获得优化的微结构单胞,进而改善或者得到最优宏观弹性特性的复合材料.为了便于制造和应用,胞体材料用来获得复合材料的极值剪切模量.最后的优化结果表明,该模型连同数值处理技巧可以非常有效地实现微结构的拓扑优化设计.