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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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  • 15 篇 钟香崇
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  • 8 篇 李俊琛
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语言

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专题定制

氧化锌纳米材料的微结构调控及特性研究
吉云亮 
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烧成温度对Al_2O_3/Ni复合材料的致密化、物相组成和显微结构的影响
李国军 黄校先 郭景坤 陈大明 
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袁振 吴长春 
中国科学技术大学力学与机械工程系 合肥230026上海交通大学建筑工程与力学学院 上海200240
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SmCo非晶及纳米晶薄膜的磁性及微结构
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SiC复相耐火材料的显微结构特征
隋万美 杜玲玲 
青岛大学理工学院物理系 青岛266071郑州经济技术开发区 
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The effect of the characteristic dimension of a microstructural material and the trough length of a solitary wave on its evolution
Rushchitskii, YY Cattani, C Terletskaya, EV 
Natl Acad Sci Ukraine  SP Timoshenko Inst Mech Kiev UkraineUniv Roma La Sapienza  Rome Italy
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Modelling microstructural evolution during annealing of inhomogeneously deformed material
Rettenmayr, M Song, X 
Tech Univ Darmstadt  Dept Mat Sci D-64287 Darmstadt Germany
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Microstructural evolution in medium copper low alloy steels irradiated in a pressurized water reactor and a material test reactor
Fukuya, K Ohno, K Nakata, H Dumbill, S Hyde, JM 
Inst Nucl Safety Syst Inc  Fukui 9191205 JapanAEA Technol  Nucl Sci Didcot OX11 0RA Oxon England
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锆基纳米复合储氢材料HTQAB_(2.1)/Mg的微结构与电化学性能
陈东 马常祥 陈廉 陈德敏 
东北大学理学院 辽宁沈阳110004中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110016
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