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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 59 篇 山东大学
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  • 46 篇 武汉大学
  • 45 篇 兰州理工大学
  • 45 篇 武汉理工大学
  • 43 篇 兰州大学
  • 41 篇 华中科技大学
  • 40 篇 西安交通大学

作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
  • 14 篇 张泽
  • 12 篇 任淮辉
  • 12 篇 黄伯云
  • 12 篇 张立同
  • 11 篇 顾明元
  • 11 篇 朱健民
  • 11 篇 李楠
  • 11 篇 郭景坤
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  • 9 篇 洪彦若
  • 9 篇 李勇
  • 8 篇 孙加林
  • 8 篇 李亚伟
  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
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  • 121 篇 其他
  • 5 篇 日文
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专题定制

晶内/晶间复合型Al_2O_3/Ni纳米金属陶瓷显微结构和力学性能的研究
李国军 黄校先 郭景坤 
中国科学院上海硅酸盐研究所 
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Mechanical behavior of aluminum foils as micro structural material under low velocity impact loading
Auzanneau, T Sato, C 
Tokyo Inst Technol  Precis & Intelligence Lab Midori Ku Yokohama Kanagawa 2268503 Japan
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Cu-纳米TiB2原位复合材料的微结构与性能
荣伟 
浙江大学 
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第六届新工程材料的微结构与力学特性国际研讨会在我校举行
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在线液相渗透连接C/SiC复合材料的显微结构与性能
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西北工业大学 
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超硬纳米薄膜的显微结构特征及其对性能的影响
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董卫国 
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低维纳米材料的表面修饰与微结构表征
陈玉金 
哈尔滨工程大学 
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微圆管内有滑移流动的蠕动传输
朱光华 徐红 
西北师范大学物理系 兰州730070
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纳米碳对酚醛树脂碳微结构的影响
蒲天游 
北京市理化分析测试中心 北京100089 
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