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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4065 期刊文献:2548 学位论文:1479 图书:33 标准:5 本周更新量:124
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作者

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青岛大学理工学院物理系 青岛266071郑州经济技术开发区 
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The effect of the characteristic dimension of a microstructural material and the trough length of a solitary wave on its evolution
Rushchitskii, YY Cattani, C Terletskaya, EV 
Natl Acad Sci Ukraine  SP Timoshenko Inst Mech Kiev UkraineUniv Roma La Sapienza  Rome Italy
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