关键词： 纳米硅   微结构表征  

摘要： 硅作为微电子器件的主要材料具有其他半导体材料无可比拟的优越性和良好的应用前景，因此如何以和硅平面工艺兼容的方法制备出高密度、尺寸可控、位置可控的单层纳米硅薄膜成为当今半导体领域的研究热点之一.而其中重要的一步是实现对纳米硅颗粒尺寸大小和空间分布的人为控制，即纳米硅可控图案的形成.该文从等离子增强化学气相淀积（PECVD）法制备的超薄非晶硅膜材料出发，以与硅平面工艺相兼容的激光晶化技术为手段，通过控制从非晶态到晶态的相转变过程，探索了一条行之有效的制备可控二维有序纳米硅阵列的道路.

关键词： 纳米单层膜   复合多层膜   薄膜微结构   NiAl纳米薄膜   折射率   光波  

摘要： 该文的主要工作是研究纳米Ni<,3>Al单层膜和Ni<,3>Al/Ni复合多层膜从沉积制备到退火晶化的生长过程和微结构演化行为.该工作使用直流磁控溅射用合金靶和复合靶制备γ-Ni<,3>Al纳米单层膜和具有纳米周期结构的复合多层膜γ-Ni<,3>Al/Ni.沉积态单层膜和多层膜的γ-Ni<,3>Al子层是具有化学成分比Ni：Al=75：25at%的无序的面心立方（fcc）结构.该文还使用原子力显微镜（AFM）表征薄膜表面和截面形貌,以及使用X射线衍射仪（XRD）表征晶体结构和物相.比较了沉积态和退火态下薄膜微结构的演化行为,探讨了制备条件以及调制周期对其的影响.结果表明,加热（400℃以上）溅射工艺将提高多层膜的质量,如膜面平整、薄膜致密、层界清晰等.该工作的最后部分使用傅立叶红外光谱仪（FTIR）研究了由复合靶制备的Ni<,3>Al纳米薄膜的光学性质,并计算了Ni<,3>Al纳米薄膜的折射率和光波在其中的传播速度,对其在磁-光记录和光存储上的应用进行了初步探讨.

关键词： 结晶结构   附生结晶   纳米微结构   高分辨原子力图像   超分子结构   胶束  

摘要： 该论文研究工作的目的是使用透射电子显微镜技术和原子力显微镜技术来观察研究不同聚合物薄膜样品的微结构,包括结晶结构、表面微结构以及超分子结构.研究的意义在于更广泛和更深刻的理解聚合物凝聚态结构,建立聚合物结构与性能的内在联系.通过附生结晶的方法,第一次解决多年来间规聚丙烯亚稳晶型Ⅱ难以单独熔体结晶获得的问题,得到了单晶.用电子衍射倾转技术结合计算机模拟技术,从分子水平上分析解释了同手性螺旋构象亚稳晶型Ⅱ附生机理帮产生的原因,并确定了附生接触面是晶型Ⅱ的晶面（110）<,Ⅱ>.首次用熔体结晶方法获得间规对氯聚苯乙烯的单晶.同时,该论文对高密度聚乙烯高取向薄膜和氯代的聚芳醚酮单晶的表面微结构进行了分子级水平的研究,首次得到其表面的高分辨原子力图像.另外,该论文还对带有十二烷基侧链的聚对苯磺酸在溶液中形成的超分子结构--胶束的聚集态进行了研究,得到的关于胶束结构的信息与光散射数据相一致,第一次直观的观察到单根胶束的形貌.

关键词： 微型气体传感器   微型电子机械系统   谐振式传感器   荷质比检测  

摘要： 该文针对目前气体传感器面临的主要障碍--选择性差的问题,提出通过检测被测气体分子的荷质比来区分被测气体从而提高选择性的思想,通过对微型气体传感器研究现状的仔细分析,发现现有的气体传感器均不能实现对被测气体分子荷质比的检测.为此该文设计并制作了一种新颖的可进行气体分子荷质比检测的微型气体传感器.在总体设计的基础上,运用ANSYS有限元分析软件对结构进行了模拟,并根据模拟的结果对结构进行了优化设计.在确定了最终的传感器结构以后,用Tinner软件进行了版图的绘制.

关键词： 粉煤灰   硅灰   纳米硅   C3S   水化反应产物   显微结构   研究   二次水化   硅酸三钙   二级界面  

摘要： 介绍了粉煤灰、硅灰、纳米硅以及复合微粉对C3S水化的作用,对其产物的显微结构进行了分析。结果表明:不同粒径的微粉与C3S 二次水化反应时,在Ca(OH)2的侵蚀作用下,早期生成絮状C-s-H凝胶,后期生成向外呈辐射状的纤维c-s-H。这种二次水化产物可 填充不同粒径颗粒之间的孔隙,最终形成致密网络状的二级界面显微结构。

关键词： 尖晶石铁氧体   Rietveld方法   氧参量   磁性能   拉曼光谱  

摘要： 尖晶石铁氧体中阳离子的分布一直是人们研究的热点,其物理化学性能,如磁性能、电性能、半导体性能以及结晶方面的性能都与阳离子在四面体和八面体中的分布有关.该文以镍锰铁氧体为研究对象,利用Rietveld方法、热力学方法以及离子半径与晶胞参数之间的关系,进行了离子分布的计算,并从理论上分析说明了该化合物的离子分布与电磁性能的关系.

关键词： 烧蚀防热   烧蚀材料   显微结构   高硅氧玻璃纤维  

摘要： 研究了二种烧蚀防热材料的显微结构.研究表明:烧蚀材料1＃中的高硅氧玻璃纤维在模拟烧蚀后仍保持其纤维形态不变,并且大、中、小纤维以适当的配比结合,使得纤维堆积密度增大,从而能提高材料的机械强度;烧蚀材料2＃具有蜂窝夹心结构,在蜂窝中填充的低密度材料是由50～100μm的空心玻璃球所组成的,这赋予它密度低、隔热性能好的特点.

关键词： 纳米复合磁体   Nd2Fe14B/α-Fe磁体   交换耦合作用   微结构   矫顽力  

摘要： 用熔体快淬法制备了高性能纳米双相耦合Nd2 Fe14 B/α Fe磁体 ,研究了快淬速率对其微结构和交换耦合作用的影响。实验结果表明 ,控制快淬速率在 12m/s时 ,可直接得到显微组织均匀 ,α Fe相粒子细小且均匀分布的纳米双相耦合Nd2 Fe14 B/α Fe磁体。低温退火消除由快速凝固带来的成分不均匀性后 ,强烈的铁磁交换耦合作用导致其最高磁性能为 :iHc=432 .2kA/m ,Jr=1.0 8T ,(BH) max=115kJ/m3 。快淬速率提高 ,非晶相体积分数增加 ,在高温晶化热处理时软硬磁相析出不均匀 ,个别α Fe相粒子奇异长大 ,尺寸达到 10 0nm左右 ,这不利于软硬磁相间的交换耦合作用 ,有损磁性能。

关键词： BC   HRTEM   微观结构   表征   纳米碳管   电子束辐照  

摘要： 该文主要通过高分辨电镜原子尺度结构分析与场发射电镜纳米尺度EDS分析和EELS分析相结合,对碳氮化硼高温裂解产物的组织结构和纳米碳管的显微结构进行了研究.该文对纳米碳管进行了大量的高分辨（HRTEM）观察研究,观察到丰富的纳米碳管形态,探讨了催化剂颗粒对纳米碳管形态的影响.在对纳米碳管的电镜观察中发现了分岔的纳米碳管,并且跟踪到了在电子束辐照作用下碳管断裂及融合等现象,这具有纳主加工方面的意义.

关键词： SBT材料   SrBi2Ta2O9材料   微结构   TEM   铁电薄膜   透射电子显微术   铁电畴结构   钽酸盐  

摘要： 本文利用透射电子显微术 (TEM)对SrBi2 Ta2 O9(SBT)材料 (单晶、陶瓷及薄膜 )的微结构进行了研究。在 (0 0 1 )取向的SBT单晶材料及多晶陶瓷中观察到 90°铁电畴结构。在SBT晶体中观察到大量的条带状四度反相畴界结构和少量的三度反相畴界结构 ,利用TaO6 氧八面体的扭转和四态自旋结构模型 ,对反相畴界结构的实验观测结果进行了解释。在 (0 0 1 )取向的SBT铁电薄膜中 ,观察到小角晶界 (倾角为 8 2°)的位错分解现象 ,导致不全位错和层错的出现。利用平衡状态下两个不全位错之间的排斥力等于层错的吸引力 ,估算了小角晶界处的层错能量 ,大小为 0 2 7～ 0 2 9J m2 。小角晶界位错的分解对 (0 0 1 )