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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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潘力佳 
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何忠杰 
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袁敏 
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Microstructural mechanism of development in photothermographic materials
Potapov, PL Schryvers, D Strijckers, H Van Roost, C 
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山东理工大学机械工程学院 山东淄博255049西安理工大学 陕西西安710048淄博市临淄热力公司 山东淄博255400
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
复合材料扭转轴截面微结构拓扑优化设计
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中国科学技术大学力学与机械工程系 合肥230026
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