关键词:
氦离子注入
纳米钛膜
微结构分析
表面分析
贮氢材料
摘要:
在常温下 ,用 2 0 0、10 0keVHe离子按He Ti原子浓度比 0 1、0 3和 0 2的剂量注入纳米钛膜 ,采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明 :注入前 ,沉积膜的原子力显微镜 (AFM )形貌像呈现从几十至 2 0 0nm以上极不均匀的晶粒尺度 ;注入后 ,3个试样的晶粒均有所长大 ,且随着注入剂量的增加 ,其长大趋势更为明显。这些长大的晶粒中同时存在大量的亚结构 ,表明在高剂量氦离子注入下 ,导致出现表层晶粒细化现象 ;He离子注入后的试样在衍射角 15°~ 40°之间出现可辨的衍射峰 ,其膜层内的平均晶粒尺寸约 13 6nm ,说明经离子注入后 ,膜层内纳米粒子的结晶度得到进一步提高 ,晶粒度比注入前长大。