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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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  • 15 篇 钟香崇
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  • 8 篇 李俊琛
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语言

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专题定制

纳米晶体材料的非线性微结构本构方程
王彪 刘玉岚 
哈尔滨工业大学光电信息技术中心 黑龙江哈尔滨150001
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Microstructural and fracture characterization of Nb-Cr-Ti mechanically alloyed materials
Davidson, DL Chan, KS 
SW Res Inst  San Antonio TX 78238 USA
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The ultrastructure of anorganic bovine bone and selected synthetic hyroxyapatites used as bone graft substitute materials
Rosen, VB Hobbs, LW Spector, M 
Harvard Univ  Brigham & Womens Hosp Dept Orthopaed Surg Sch Med Boston MA 02115 USAMIT  Dept Mat Sci & Engn Cambridge MA 02139 USA
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纳米GaN显微结构研究
李晖 
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王耐艳 涂江平 杨友志 齐卫笑 刘芙 张孝彬 卢焕明 刘茂森 
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(Ti,Al)N/AlNVN/AlN(Ti,Al)N/VN纳米多层膜的微结构与超硬效应研究
田家万 
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涂层层数和保温时间对纳米TiO_2薄膜显微结构的影响
尹衍升 张金升 李嘉 关凯书 刘英才 谭训彦 孟繁琴 刘蕾 
山东大学 材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室工程陶瓷山东省重点实验室济南250061济南市建筑材料设计研究院 佳木斯150047济南大学 济南250021佳木斯大学 济南市第二建筑工程总公司(直属四公司) 
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
分子束外延生长赝配高电子迁移率超高速微结构功能材料里深中心识别
卢励吾 张砚华 J.Wang WeikunGe 
中国科学院半导体研究所半导体材料科学开放实验室 北京100083香港科技大学物理系 
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原位Al_2O_3片晶/Ce-TZP和SrO·6Al_2O_3棒晶/Ce-TZP复合材料的制备与显微结构
叶建东 李红彦 吴建青 王迎军 
华南理工大学无机材料系 广州510641
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4H-SiC纳米薄膜的微结构及其光电性质研究
张洪涛 徐重阳 邹雪城 王长安 赵伯芳 周雪梅 曾祥斌 
华中科技大学电子科学与技术系 湖北工学院电气工程与计算机科学系 武汉430068
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