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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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纳米γ-Ni-Fe合金及其NiFe/Al<,2>O<,3>纳米复合材料制备、微结构及性能研究
刘银 
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李戈扬 赖倩茜 虞晓江 顾明元 
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Microstructural design for phase-matching engineering
Zhu, YY Cai, XB Qin, YQ Zhu, SN Ming, NB 
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Yuasa Corp  Takatsuki Osakga 5691115 JapanNippon Sheet Glass Co Ltd  NFG Co Tsu Mie 5140817 Japan
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一种非连续纳米氧化层自旋阀的显微结构研究
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钟培全 
成都虹波实业股份有限公司 四川成都610051
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等离子喷涂氧化锆纳米涂层显微结构研究
陈煌 丁传贤 
中国科学院上海硅酸盐研究所 上海200050
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