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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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材料微结构演变和损伤微裂纹愈合过程的研究
黄佩珍 
西安交通大学 
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原位Al_2O_(3pl)/Ce-TZP复合材料的显微结构与力学性能
叶建东 李红彦 王迎军 
华南理工大学无机材料系 广州510641
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Microstructural investigations of barium titanate-based material for base metal electrode ceramic multilayer capacitor
Metzmacher, C Albertsen, K 
Philips Res Labs  D-52085 Aachen Germany
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原位SrO·6Al_2O_3/Ce-TZP复合材料的显微结构与力学性能
叶建东 李红彦 王迎军 
华南理工大学无机材料系 广州510641
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硬脂酸法制备纳米TiO_2及微结构控制
杨娟 李丹 吴东辉 杨绪杰 陆路德 汪信 
南京理工大学材料化学实验室 南京210094
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Micro-structure Parameter Optimization Design of Short-fiber/whisker Reinforced Composite
李敏 刘秋云 刘晓宇 梁乃刚 
中科院力学所  非线性力学国家重点实验室 北京 100080
来源 详细信息
纳米多层膜的微结构与超硬效应
李戈扬 许俊华 顾明元 
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海200030
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
纳米科学技术及其应用
李道华 
西昌师专 
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 国家哲学社会科学学术... 详细信息
掺杂纳米硅薄膜微结构的研究
王金良 徐刚毅 王天民 
北京航空航天大学理学院 北京100083
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微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景
蒋军彪 韩宗虎 
西安飞行自动控制研究所 西安710065
来源 详细信息
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