关键词:
光纤传感器
级联FFPI
温度
压力
游标效应
摘要:
在光纤传感领域,温度和压力作为基础的物理参量,与人们的生产、生活息息相关。如何提升传感器的灵敏度,一直是广大研究者的重点关注方向。近年来,因为信息、材料等多学科发展,大量对于测量参数敏感的材料被提出来用于光纤传感领域。虽然光纤传感器的性能有所提升,也极大地丰富了光纤传感的种类,但目前提出的关于温度、压力等方面的光纤传感器仍存在着一些问题,如灵敏度低、稳定性差和制作工艺复杂等,这些问题严重制约着光纤传感的实用化。针对这些不足,研究人员做了大量试验工作,并且提出了不少改进的方法,这将推动光纤传感领域不断向前发展。本文在光纤传感技术研究的基础上,通过将具有敏感特性的材料与可以有效提升传感性能的光纤微结构结合在一起,研究了四种不同的高灵敏度传感器,实现了对温度,压力的测量。本文的研究内容主要如下:(1)介绍了光纤微结构的制备方法以及敏感材料的复合方法,尤其重点阐述了几种在不同环境下聚合物可以有效填充毛细管的方法。(2)从多光束干涉原理出发,详细介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪(FFPI)的原理,为下文我们展开对法布里-珀罗(F-P)干涉型传感器的研究提供了理论基础。最后分析了多参量区分测量的原理。(3)提出了一种聚合物填充毛细管的高灵敏度单F-P腔温度传感器。我们分析了单F-P腔的传感机理并详细介绍了这种传感器的制备方法,还对由聚合物胶(PDMS)形成的传感腔与外界空气相接触的反射界面随温度的变化而产生的形变进行了讨论。通过对几种不同腔体尺寸的温度传感器进行实验验证,证实了我们关于腔体长度与灵敏度大小关系的猜想,即随着温度上升,腔长也需增大才能达到最佳性能,同时验证了腔体长度不宜超过110μm的猜想。此外,还通过实验验证了这种传感器具有良好的稳定性和重复性。(4)提出了一种双F-P腔级联的光纤温度/压力传感器。利用石英毛细管会在压力环境中发生形变的原理,设计出了一种用于压力检测的F-P型传感器。我们详细介绍了双F-P腔传感机理以及传感器结构的制备方法。在实验中我们对这一传感器结构分别进行了温度和压力的传感检测。实验数据表明,该传感器结构用于温度检测时,胶腔相对较敏感;用于压力检测时,则空气腔相对较为敏感。理论上在32℃~50℃与0 MPa~0.5MPa范围内,温度和压力的区分测量误差分别为0.00043℃和0.00003 MPa。然后在此研究基础上,我们进一步探究了三F-P腔光纤温度传感器的温度传感特性。我们讨论了在温度变化过程中,组合腔与单腔之间的联系。当温度在30℃~36℃时,温度灵敏度达到了5.84 nm/℃,线性拟合度为99.88%。相对比本文提到的单F-P腔和双F-P腔级联光纤温度传感器,这种三F-P腔的复合型温度传感器的灵敏度有了很大的提升。(5)提出了一种基于游标效应的级联FFPI光纤温度传感器结构。在文中我们深入分析了游标效应的增敏原理、实现游标效应的条件及放大系数的计算方法,并且详细介绍了传感器的制备方法。区别于其他基于游标效应的传感器制作方法,本文提出以聚合物胶腔-空气腔形成的组合腔作为参考腔,聚合物胶腔作为传感腔的想法,通过控制胶腔的长度,就能满足游标效应增敏的条件,可实现传感器对温度的高灵敏度传感。实验表明:在32℃~50℃的环境温度范围内,该传感器传感腔的温度灵敏度为2.62 nm/℃,包络温度灵敏度为-23.22 nm/℃,与理论计算的温度灵敏度值-23.29 nm/℃非常相近。