关键词： 微机械   微型电子机械系统   MEMS   纳米机械   微细加工   微装配   微测量  

摘要： 微机械在美国被称为微型电子机械系统(MEMS)，在日本被称为微机器，在欧洲被称为微系统。按外形尺寸特征，微机械可分成1～10mm的微小型机械、1μm～1 mm的微机械，以及1 nm～1 μm的纳米机械。微机械由于具有在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天、精密仪器、材料、生物医疗等领域有着广泛的应用潜力，并成为纳米技术研究的重要手段，受到世界各国的高度重视，被誉为20世纪大十关键技术之首，21世纪最具代表性的技术。 从微机械的加工方法来看，它具有体积小，精度高，重量轻、性能稳定、可靠性高、能耗低、灵敏性和工作效率高、多功能和智能化、适于大批量生产、制造成本低廉等特点。 微机械涉及的基本技术主要有：微机械设计；微机械材料；微细加工；集成技术；微装配和封接；微测量；微能源，微系统控制等。 随着微机械技术的深入发展，微机械的研究已经从基础研究阶段逐步跨入研制开发与实用阶段，许多微传感器、微执行器以及微光学部件已经在多种行业获得应用。国外也正在从微型机械电子系统向微型光电子机械系统方向扩展，从尺寸上向更微观的电子机械系统逼近。相信微纳米技术的不断发展一定会从微观角度给我们展现出一个全新的世界。

关键词： 显微结构   结晶学   晶体学   地质学   晶体取向   EBSD   背散射   电子   轻子  

关键词： zinc   stabilised waste   cement (OPC)   PFA   sequential chemical extraction   SEM   XRD  

摘要： In the present study, a five step sequential chemical extraction (SCE) procedure was employed to investigate the binding mechanisms and chemical partitioning of zinc in cement-based stabilised waste materials. After each step of SCE, scanning electronic microscope with energy dispersive spectrometer (SEM/EDS) and X-ray diffraction (XRD) were used to assess the microstructural and chemical changes of the waste materials. The results showed that the leaching of Zn from the cement based stabilised waste mainly took place at the second and the third extraction steps at pH 5.0 and 2.0, respectively. The addition of pulverised fly ash (PFA) increased the leachability of Zn at the second extraction step. The SCE results also indicated the hydration of cement was greatly retarded by the incorporation of zinc waste. The SEM and XRD analysis of the samples after each extraction step demonstrated that zinc leached at the second step extraction was partially due to the dissolution of the new crystalline phase (ZnO) in the waste materials. Since large amounts of zinc were leached out only at the third extraction step at pH 2.0, these stablised waste materials may be relatively stable under a normal disposal environment.

关键词： 微型反射镜阵列   微型化技术   微机械系统   微光学电子机械系统   micromirror arrays   miniaturized technology   MEMS   MOEMS  

摘要： 综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 ,并对应用前景进行分析。

关键词： 金属基复合材料   AlO颗粒   显微组织   时效机理  

摘要： 该文在采用挤压铸造法成功制备了亚微米Al<,2>O<,3p>/Al复合材料的基础上,利用透射电镜(TEM)、高分辨电镜(HREM)、能谱仪(EDX)、布氏硬度和示差扫描热分析(DSC)等多种手段,系统研究了0.15μm-Al<,2>O<,3p>/Al复合材料的界面行为、压铸态复合材料的基体组织特征及0.3μm-Al<,2>O<,3p>/LY12复合材料的时效硬化行为.

关键词： 磁性能   硬磁相   剩磁   微结构   土壤结构  

摘要： 奥地利Vienna技术大学***等与荷兰、法国、爱尔兰和德国的研究工作者合作采用各种技术如熔旋、熔化萃取、急冷和机械合金化,制备了NdTbFeCoB的纳米晶贫稀土复合材料合金。研究发现,要达到500kA/m的高矫顽力的这类合金,Tb与Co含量是关键。剩磁的典型值是1.05～1.10T。未观测到晶体织构,因此,用弹性磁体行为获得了剩磁增量。在红外线加热炉中退火处理

关键词： 化合物半导体,分子束外延,异质结双极晶体管,太阳电池  

摘要： 采用GSMBE技术，研究了GaAs、AlGaAs、InP、InGaP等薄膜材料及其异 质结构的生长与特性，研究了InGaP/GaAs异质界面生长中的衬底温度和AsH3、 PH3气氛切换及In、Ga束流强度的影响，获得了失配度Δa/a约10-4量级的高质量 InGaP外延薄膜，通过优化材料结构生长出高性能的In0.49Ga0.51P/GaAs异质结双 极晶体管微结构材料并制备出原型器件。设计的HBT微结构材料中采用了100nm 的In0.49Ga0.51P宽禁带发射极和厚度为60nm、掺杂浓度为3×1019cm-3的掺Be GaAs 基区及5nm非掺杂隔离层。 原型器件制作采用湿法化学腐蚀制作台面结构大尺寸HBT单管。测试结果表 明器件具有良好的结特性和直流增益，BE、BC结正向开启电压为1.0V和0.65V， 反向击穿电压分别达10V和12V，集电极电流密度280A/cm2时共发射极电流增 益达320。分析了带有非掺杂隔离层的InGaP/GaAs HBT突变异质结空间电荷区 的电势分布及HBT器件中的电流成分，就非掺杂隔离层等因素对器件特性的影 响进行了讨论。 在AlGaAs/GaAs空间太阳电池研究中，就器件反向漏电、串并联电阻等因素 对太阳电池输出特性影响进行了模拟，优化了p-n型Al0.85Ga0.15As/GaAs太阳电 池器件工艺。分别采用真空蒸发AuBe/Au和AuGeNi/Au并合金化形成欧姆接触 制作太阳电池正面栅线和背面电极；采用NH4OH：H2O2：H3PO4：H2O体系的选择性 腐蚀液去除高掺杂的GaAs接触层；采用真空蒸发技术制备ZnS/MgF2双层复合减 反射膜。成功制备出高效AlGaAs/GaAs太阳电池，AMO测试条件下，所制备的 器件光电转换效率最高达22.23％。

关键词： 木材   无机纳米   溶胶—凝胶法   原位聚合  

摘要： 以硅酸乙酯作为无机纳米前体 ,以甲基丙烯酸甲酯为有机改性单体 ,经无机前体的溶胶—凝胶过程或与有机单体原位聚合同时进行制得木材—SiO2 复合材料与木材—PMMA—SiO2 复合材料。并通过SEM测试对其微观结构进行表征。结果表明改性物质在木材中的结合方式与单纯加入有机高分子或无机粒子有很大差别 ,在细胞壁及细胞空隙中均有分布。

关键词： 纳米交换耦合磁体   磁性机理   晶界相   热处理   磁硬化   交换耦合  

摘要： 纳米交换耦合磁体由于其独特的磁性机理和低的价格性能比而得到广泛的研究,并有着广阔的应用前景.该工作对Nd<,2>Fe<,14>B/α-Fe基纳米交换耦合磁体的磁性进行了系统的研究,从元素掺杂,晶界相的性质到热处理对磁性能的影响,均进行了有益的研究.也试图从模型计算出发阐述交换磁体和磁硬化和交换耦合机制.

关键词： 光学性质   离子注入   掺铒硅基材料  

摘要： 该论文采用离子注入方法制了掺杂铒、氧的、单晶硅,锗硅材料.研究退火条件(温度,时间)等对Si(Er)光致发光(PL)的影响.短时间的快速退火可以有效地消除因为离子注入 所造成的损伤等不利因素并有效地激活铒离子.铒氧共掺杂将形成作为发光中心的[Er-O]复合体,有效提高铒的发光强度.PL精细谱线分析表明.铒4f悫支内不同能级之间的跃迁同铒的微观环境有密切的关系.变激发功率的光致发光实验证明,以浓度2×10<\'15>cm<\'-2>注 入单晶硅材料中的铒的固溶度很低,而且可被光激发的铒发光中心的数目很有限.所以,发光强度在较小的激发功率下就达到了饱和.提高铒在材料中的固溶度,减少材料中非辐射复合中心的数目,采用宽带隙的基体材料,或者采用生长的方法掺杂铒、氧等,必将有利于提高掺铒硅基材料的发光强度.