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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
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  • 8 篇 李俊琛
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语言

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专题定制

Ln-α-sialon-AIN-多型体和Ln-α-sialon陶瓷显微结构设计
陈卫武 
中国科学院上海硅酸盐研究所 
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王明光 
中国科学院金属研究所 
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Microstructural modification and hardness improvement of titanium-base surface-alloyed materials fabricated by high-energy electron beam irradiation
Oh, JC Choo, DK Lee, SH 
Pohang Univ Sci & Technol  Ctr Adv Aerosp Mat Pohang 790784 South Korea
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云南大学 
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Microstructural development of stabilized fly ash as pavement base material
Lav, AH Lav, MA 
Istanbul Tech Univ  Fac Civil Engn Dept Transp TR-80626 Istanbul TurkeyIstanbul Tech Univ  Fac Civil Engn Dept Geotech Engn TR-80626 Istanbul Turkey
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半导体激光器、集成光学激光器
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微特电机
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