关键词:
磁控溅射
纳米颗粒膜
巨磁电阻效应
超顺磁
X射线衍射
高分辨透射电镜
Fe-AlO
FeCo-AlO
摘要:
虽然目前人们对颗粒膜系统提出了一些理论解释,但是这些理论不能完全解释实验中所观察的现象,因此有关颗粒膜的微结构与GMR性能的内在关系仍有待进一步的研究.文通过多靶磁控溅射方法制备了Fe-Al<,2>O<,3>和FeCo-Al<,2>O<,3>两种铁磁金属(合金)-绝缘体的纳米颗粒膜(其中FeCo-Al<,2>O<,3>颗粒膜的研究未见报道),研究了成分和基片温度对颗粒膜微结构和GMR性能的影响.该文从电子平均自由程、颗粒的间距以及颗粒界面的平均曲率半径对电子散射的影响合理地解释了Fe-Al<,2>O<,3>和FeCo-Al<,2>O<,3>两种颗粒膜体系中GMR随不同Fe或FeCo体积分数的变化规律和基片温度对GMR的影响的起因.