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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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专题定制

快凝Ni-Si-B系非晶合金在纳米晶化过程中的微结构变化及其对电阻温度特性的影响
彭平 
湖南大学 
来源 详细信息
GaN和高温超导体中的微结构及其对材料性质的影响
杜序 
北京大学 
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微结构分布对复合材料弹塑性性能的影响
胡更开 韩棋 WengGJ 
北京理工大学应用力学系 北京100081DepartmentofMechanicalandAerospaceEngineeringRutgersUniversity 
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
Microstructural evolution and hardening of neutron irradiated vanadium alloys at low temperatures in Japan Material Testing Reactor
Candra, Y Fukumoto, K Kimura, A Matsui, H 
Tohoku Univ  Inst Mat Res Aoba Ku Sendai Miyagi 9808577 JapanKyoto Univ  Inst Adv Energy Kyoto 606 Japan
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AlN对MoSi_2材料的显微结构与力学性能的影响
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中国科学院上海硅酸盐研究所 
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多孔碳质材料微结构和电性能的研究
古可隆 顾瑞生 张天健 严立楠 刘军利 
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X射线、紫外线及其仪器
来源 详细信息
喷射共沉积Al-4.7Cu-1.73Mg/SiC_P复合材料的界面微结构和性能
张淑英 陈玉勇 沈光骏 曹福洋 李庆春 
哈尔滨工业大学金属精密热加工国防科技重点实验室 150001东南大学分析测试中心 
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纳米氧化物微结构特征与晶粒生长行为研究
古堂生 
中山大学 
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Use of microstructural statistics in predicting polycrystalline material properties
Mason, TA Adams, BL 
Univ Calif Los Alamos Natl Lab  Div Mat Sci & Technol Los Alamos NM 87545 USACarnegie Mellon Univ  Dept Mat Sci & Engn Pittsburgh PA 15213 USA
来源 详细信息
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