关键词:
横向绝缘栅双极晶体管
异质结双极晶体管
微型电子机械系统
半导体器件
多晶硅发射极双极晶体管
集成电路
晶闸管
导通电阻
高电子迁移率晶体管
器件模拟
摘要:
Y98-61400-128 9903084微型电子机械系统中的组合技术=Merged technologyon MEMS[会,英]/Lee,M.M.O.//1997 IEEE HongKong Electron Devices Meeting.—128~135(UV)本文是一篇特邀论文,主要介绍了未来微型电子机械系统用的智能传感器的趋势。也说明了校正、增益阶段和微控制器装置以及高电流/高电压 CMOS 驱动器集成到三芯片组件、两芯片组件和单片式芯片的方法,这些组件可用于未来的汽车、工业和医学微型电子机械系统产品中。