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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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  • 15 篇 钟香崇
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  • 8 篇 李俊琛
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语言

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专题定制

以纳米碳管为媒介生长的纳米石英晶须的微结构
张孝彬 张泽 齐仲甫 李文铸 俞大鹏 
浙江大学材料科学与工程学系 杭州市310027中国科学院凝聚态物理中心北京电镜室 浙江大学 北京大学 
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任德亮 丁占来 齐海波 樊云昌 
石家庄铁道学院 
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李戈扬 施晓蓉 辛挺辉 吴亮 李鹏兴 
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武汉大学物理系 武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室 中国科学院国际材料物理中心 
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广东工业大学 
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一维纳米材料的合成及显微结构
周光文 张泽 俞大鹏 
中国科学院凝聚态物理中心北京电子显微镜实验室 北京100080北京大学物理系介观物理国家实验室 北京100871
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李建林 江东亮 谭寿洪 
中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室 上海200050
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石膏基外墙粉刷材料微结构与水化硬化研究
彭家惠 林芳辉 
重庆建筑大学材料系 
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