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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 46 篇 武汉大学
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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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语言

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专题定制

Ag-SiO_2纳米复合薄膜微结构研究
李戈扬 吴亮 张流强 施晓蓉 李鹏兴 
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海200030
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The relation between the micromagnetic and microstructural properties of HDDR-processed Nd-Fe-B-type materials
Thompson, P Gutfleisch, O Chapman, JN Harris, IR 
UNIV BIRMINGHAM SCH MET & MATBIRMINGHAM B15 2TTW MIDLANDSENGLAND
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含微结构材料变形的几何研究
宋凡 
哈尔滨工业大学 
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改变二十一世纪的MEMS技术
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
The influence of substrate temperature, substrate material and heat treatment on the microstructure of Ag/Si nanocomposite films prepared by rf co-sputtering
Niu, F Chang, ITH Dobson, PJ Cantor, B 
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骨折愈合中可吸收固定材料降解过程的超微结构观察
徐又佳 郑祖根 王晓东 董启榕 沈忆新 成茂华 蔡丽君 
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溶胶—凝胶法制备莫来石先驱粉末的烧结特性及材料的显微结构变化
禹剑 袁启明 杨正方 陈玉茹 
天津大学材料科学与工程系 
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Ultrastructural changes in parasites induced by nanoparticle-bound pentamidine in a Leishmania major mouse model
Fusai, T Boulard, Y Durand, R Paul, M Bories, C Rivollet, D Astier, A Houin, R Deniau, M 
FAC MED  PARASITOL LAB F-94010 CRETEIL FRANCEMUSEUM NATL HIST NAT  LAB BIOL PARASITAIRE PROTISTOL & HELMINTHOL F-7231 PARIS 05 FRANCEHOP HENRI MONDOR  SERV PHARMACOL TOXICOL F-94010 CRETEIL FRANCEFAC PHARM  PARASITOL LAB F-92200 CHATENAY MALABRY FRANCEIMTSSA  F-13398 MARSEILLE FRANCE
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