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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
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语言

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专题定制

Microstructural control of porous polymeric materials via a microemulsion pathway using mixed nonpolymerizable and polymerizable anionic surfactants
Chieng, TH Gan, LM Chew, CH Ng, SC Pey, KL 
NATL UNIV SINGAPORE  DEPT PHYS INST MICROELECTR SINGAPORE 117548 SINGAPORE
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热处理过程中纳米非晶Si-N-C粉的晶化及微结构变化研究
李亚利 梁勇 郑丰 肖克沈 胡壮麒 
中国科学院金属研究所快速凝固非平衡合金国家实验室 中国科学院金属研究所微晶与激光加工实验室
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一种多功能微型电子机械系统
谢国章 
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高Tc超导材料微结构的透射电镜研究
严勇 
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
The effect of thermal cycle on the microstructural development of a powder metallurgy superalloy braze material
Iacocca, RG 
P/M Lab  Department of Engineering Science and Mechanics The Pennsylvania State University
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Microstructural and thermal studies on charge-transfer materials
Singh, RA Singh, R 
[a] Molecular Materials Laboratory  Department of Chemistry Faculty of Science Banaras Hindu University Varanasi 221005 India
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纳米多层膜的微结构、衍射特性和同步辐射辐照下的稳定性
伍历文 
中国科学技术大学 
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Ultrastructure synthesis and nonlinear spectroscopy of photonic materials
Dalton, LR Harper, AW Sun, SJ 
[a] Loker Hydrocarbon Research Institute  University of Southern California Los Angeles California 90089-1661
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Al_2O_3─Ti(C,N)陶瓷材料的性能与显微结构研究
张炳荣 刘宏 宋勇 甘朝亢 
山东轻工业学院无机材料系 
来源 维普期刊服务平台 维普期刊服务平台 详细信息
原位TiC-AlN/Al复合材料的形成机制,力学性能及界面微结构的研究
崔春翔 
上海交通大学 
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