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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 59 篇 山东大学
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  • 46 篇 武汉大学
  • 45 篇 兰州理工大学
  • 45 篇 武汉理工大学
  • 43 篇 兰州大学
  • 41 篇 华中科技大学
  • 40 篇 西安交通大学

作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
  • 14 篇 张泽
  • 12 篇 任淮辉
  • 12 篇 黄伯云
  • 12 篇 张立同
  • 11 篇 顾明元
  • 11 篇 朱健民
  • 11 篇 李楠
  • 11 篇 郭景坤
  • 11 篇 李伟
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  • 9 篇 洪彦若
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  • 8 篇 孙加林
  • 8 篇 李亚伟
  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
  • 658 篇 英文
  • 121 篇 其他
  • 5 篇 日文
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专题定制

MICRORADIOGRAPHY AND TOMOGRAPHY FOR HIGH-RESOLUTION NDT OF ADVANCED MATERIALS AND MICROSTRUCTURAL COMPONENTS
MAISL, M REITER, H HOLLER, P 
Fraunhofer-Institut für zerst?rungsfreie Prüfverfahren  Universit?t Geb?ude 37 D-6600 Saarbrücken 11 Federal Republic of Germany
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NTD Si材料的微结构研究
周国华 
材料研究与测试中心 
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刘新祥 
上海交通大学 
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ULTRASTRUCTURE OF HYPERTENSIVE RAT AORTA - INCREASED BASEMENT-MEMBRANE LIKE MATERIAL
GUYTON, JR DAO, DT LINDSAY, KL TAYLOR, AA 
BAYLOR UNIV METHODIST HOSPDEPT CELL BIOLHOUSTONTX 77030
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四四○○厂屏玻璃窑用ZAS、ZR系列耐火材料使用后显微结构物理化学及窑炉相关技术研究通过鉴定
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Lub.,N.C 王元化 
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水泥熟料显微结构矿相定量分析方法的研究——图像分析仪在硅酸盐材料中的应用
隋淑娟 刘元新 
中国建筑材料科学研究院测试所 
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Atom probe field-ion microscopy: A technique for microstructural characterization of irradiated materials on the atomic scale
Miller, M.K. Hetherington, M.G. Burke, M.G. 
Metals and Ceramics Division  Oak Ridge National Laboratory Oak Ridge 37831 TN United StatesDepartment of Metallurgy and Science of Materials  University of Oxford Oxford OX1 3PH Parks Road United KingdomWestinghouse Research and Development Center  Pittsburgh PA 1310 Beulah Road United States
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SiC—TiB2粒子复合物的显微结构和材料性能
张清文 刘玉娥 
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