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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 46 篇 武汉大学
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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
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  • 12 篇 黄伯云
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  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
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专题定制

几种纤维增强水泥材料性能与界面微结构的比较研究
陈子清 
武汉工业大学 
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反应生成Al<,2>O<,3>陶瓷基复合材料的显微结构及断口分析
沈玉辉 
大连工学院 
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ULTRASONIC-IMAGE EVALUATION OF MICROSTRUCTURAL DAMAGE ACCUMULATION IN MATERIALS
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LOCKHEED PALO ALTO RES LABS MET LABPALO ALTOCA 94304
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水稻抗白叶枯病育种材料的超微结构观察
王以秀 薛庆中 严菊强 
浙江农业大学农学系 浙江农业大学农学系 杭州 
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材料内部的微结构损伤对局部化变形的影响
邰卫华 
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中国科学院上海硅酸盐研究所 
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陶瓷超导体的显微结构设计
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韧性材料的微结构损伤与断裂
邰卫华 
北京航空航天大学 
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COMBINED X-RAY MICRODIFFRACTION AND TOPOGRAPHY EXPERIMENT FOR MICROSTRUCTURAL ANALYSIS OF HETEROGENEOUS MATERIALS
RAPPAZ, M BLANK, E 
1.Laboratoire de métallurgie physique  Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne Ch. de Bellerive 34 CH-1007 Lausanne Switzerland
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