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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

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语言

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专题定制

二氧化硅亚波长纳米微结构的增透特性
叶鑫 蒋晓东 肖磊 罗炫 方瑜 张庆军 易早 吴卫东 唐永建 
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心  四川 绵阳 621900
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固化温度对纳米微结构制备的影响
李梅 路庆华 王宗光 钱昱 
上海交通大学化学化工学院  上海 200240上海交通大学分析测试中心  上海 200030
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Cu/Zr纳米多层膜微结构与力学性能
苑永涛 方敬忠 刘红 陈志强 
中国科学院光电技术研究所 成都 610209
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烧成温度对钙长石隔热耐火材料显微结构与性能的影响
陈曦 刘莹 鄢文 
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室, 武汉430081 
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扫描近场光学显微镜原理及其应用
邓江东 张春平 李增发 张光寅 张彦军 
南开大学物理系  天津 300071
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史守华 孙兆奇 孙大明 
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来源 详细信息
纳米氧化铁调控钧瓷釉层显微结构及呈色分析
李旭 朱聪旭 法文君 张艳鸽 冯铭华 郭志勇 孔春生 郑直 
许昌学院化工与材料学院(表面微纳米材料研究所),许昌461000 许昌市产品质量检验检测与研究中心,许昌461000 禹州市神后镇孔家钧窑有限公司,禹州461670 
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纳米材料微结构的原位电子显微学研究
谭玉 夏明霞 李红星 王岩国 
湖南大学微纳技术中心 长沙410082中国科学院物理研究所 北京100080
来源 详细信息
利用纳米GaP固体材料的拉曼光谱计算其微结构参数
张兆春 邹陆军 崔得良 
上海大学材料科学与工程学院 上海200072山东大学晶体材料研究所 济南250100
来源 详细信息
材料填充微结构光纤光栅传感特性研究
钱立亮 张帅 钱祥忠 
温州大学 物理与电子信息工程学院 浙江 温州 325035
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