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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

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激光能量密度对纳米AlO/PS复合材料致密度和显微结构的影响
郑海忠 张坚 徐志峰 孙胜伟 
南昌航空工业学院材料科学与工程学院  江西 南昌 330063南京航空航天大学材料科学与技术学院  江苏 南京 210016
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光电变色器件用纳米晶氧化钛薄膜的微结构与特性
唐洁影 张旭苹 孟莉莉 
东南大学微电子机械系统教育部重点实验室  南京 210096南京大学光通信工程研究中心  南京 210093
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石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征
史云胜 刘秉琦 杨兴 
军械工程学院电子与光学工程系,石家庄 050003 清华大学精密仪器系,北京 100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084 
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溶剂交换对水泥基材料微结构的影响
张爱 葛勇 
哈尔滨工业大学交通科学与工程学院,哈尔滨 150000 
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邓珮珍 乔景文 钱振英 陈德敏 
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纳米多孔金薄膜显微结构分析
陈静 胡文成 杜凯 张运娟 张淑洋 张林 
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心  四川 绵阳 621900电子科技大学 微电子与固体电子学院  成都 610054四川大学 原子与分子物理研究所  成都 610065
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梁冠全 毛卫东 濮怡莹 邹慧 汪河洲 
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W6+掺杂调控微结构增强LiNiCoO高镍正极材料的循环稳定性
李阿飞 胡成志 王璨 曹世丞 唐伟建 刘治保 陈凯 王长平 陈章贤 
合肥工业大学化学与化工学院,合肥 230009 中盐安徽红四方新能源科技有限公司,合肥 230009 
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微结构设计眼镜镜片专家研讨会日前在沪召开
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