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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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MICROSTRUCTURAL INVESTIGATION OF ALPHA-BETA YTTRIUM SIALON MATERIALS
CHATFIELD, C EKSTROM, T MIKUS, M 
1.Research and Development  AB Sandvik Hard Materials Box 42056 S-126 12 Stockholm Sweden
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碳素材料显微结构和组织的控制
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材料的微结构损伤与韧性断裂
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医用生物材料的动态组织学及超微结构
俞育飞,凌励立,薜淼,张彩露 
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合金及显微结构设计
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来源 重庆大学图书馆图书 详细信息
柔性石墨材料和石墨蠕虫的显微结构
杨耿志 
哈尔滨电碳研究所 
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EFFECT OF MICROSTRUCTURAL RUPTURES ON THE STABILITY OF SHELLS MADE OF FIBROUS MATERIALS
VANIN, GA SEMENYUK, NP 
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具有微结构的材料的多极力学
R.K.T.Hsieh,欧阳皂 
瑞典皇家技术学院 复旦大学 
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瓷材料的显微结构数据与力学性能之间的关系(第Ⅰ部分)
Helga Szibor Hans W.Hennicke 徐如恬 
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