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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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Mitigating Electrode Deactivation Through Microstructural Design
McDevitt, Kyle McAnulty 
University of California  Irvine
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飞秒激光在金属纳米材料制备和材料微结构加工中的应用
孟宪赓 赵崇军 邱建荣 
中科院上海光学精密机械研究所 上海 201800
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飞秒激光在6H SiC晶体表面制备纳米微结构
吴晓君 贾天卿 赵福利 黄敏 陈洪新 许宁生 徐至展 
中山大学光电材料与技术国家重点实验室  广州 510275东京大学物性物理研究所  千叶 277-8581 日本中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室  上海 201800
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CuO纳米微晶玻璃的显微结构及性能研究
吴宇欣 吕杰衡 阮健 田晨 刘超 韩建军 
武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉 430070 武汉理工大学材料科学与工程国际化示范学院(材料与微电子学院),武汉 430070 湖北省特种玻璃工程技术研究中心,武汉 430070 
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MgBi/MgSn纳米复合膜的微结构及热电性能
杨爽 宋贵宏 陈雨 冉丽阳 胡方 吴玉胜 尤俊华 
沈阳工业大学材料科学与工程学院  沈阳 110870
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二氧化硅亚波长纳米微结构的增透特性
叶鑫 蒋晓东 肖磊 罗炫 方瑜 张庆军 易早 吴卫东 唐永建 
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心  四川 绵阳 621900
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烧成温度对钙长石隔热耐火材料显微结构与性能的影响
陈曦 刘莹 鄢文 
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室, 武汉430081 
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Cu/Zr纳米多层膜微结构与力学性能
苑永涛 方敬忠 刘红 陈志强 
中国科学院光电技术研究所 成都 610209
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固化温度对纳米微结构制备的影响
李梅 路庆华 王宗光 钱昱 
上海交通大学化学化工学院  上海 200240上海交通大学分析测试中心  上海 200030
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扫描近场光学显微镜原理及其应用
邓江东 张春平 李增发 张光寅 张彦军 
南开大学物理系  天津 300071
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